Proizvod
all
Calibre EUV
Sveobuhvatna podrška u rešavanju jedinstvenih izazova EUV visoke DNK, kao što su anamorfna optika i 3D modeliranje maski kako bi se uzeli u obzir efekti senčenja.
Calibre Computational Lithography
Nezasitna potražnja za integrisanim krugovima (IC) nastavlja da pokreće manje kritične dimenzije. Procesi fotolitografije, uključujući ekstremno ultraljubičasto zračenje (EUV), predstavljaju sve veću složenost i obim podataka. Naša rešenja za računarsku litografiju omogućavaju isplativo omogućavanje tehnologije.
Calibre Computational Lithography Proizvodi
I
litografski izazovi i računarska složenost povezana sa naprednim procesnim čvorovima stvaraju potrebu za naprednim mogućnostima u softveru i hardveru računarske litografije. Rešenje Calibre nudi najbolju tačnost, brzinu i troškove vlasništva u klasi.
Proizvod
all
Calibre nmOPC
Gusta optička blizina i korekcija procesa kako bi se omogućila proizvodnja dubokih submikrona.
Proizvod
all
Calibre nmSRAF
Ubacuje pomoćne funkcije podrezolucije (SRAF) u dizajn.
Proizvod
all
Calibre OPCverify
Moćna simulacija punog čipa i litografska analiza.
Proizvod
all
Calibre WORKbench
GUI se koristi za pokretanje širokog spektra aplikacija i za pregled rezultata.
Proizvod
all
Kalibar NMModelFlov
Visoko skalabilni kalibracioni motor za optičke, otporne i nagrizane modele.
Proizvod
all
Calibre pxOPC
Brza, inverzna korekcija optičke blizine zasnovana na pikselima.
Proizvod
all
Calibre pxSMO and RET Selection
Jednostavan za upotrebu GUI za optimizaciju izvora osvetljenja.