Les outils Calibre Mask Data Preparation (MDP) permettent de convertir et de vérifier les formats de données des masques pour la fabrication des masques, y compris les derniers formats de masques multifaisceaux sur une plateforme Calibre entièrement compatible.
Les produits Calibre Mask Data Preparation font partie de la plateforme intégrée Calibre, qui vous permet d'effectuer toutes les tâches d'amélioration de la résolution et de conversion du format des données des masques en un seul lot de fabrication de masques en utilisant un langage de contrôle unique avec des performances inégalées.
Exporte les données de création de masques directement vers les formats d'écriture de masques cibles sans changer d'outil ni créer de gros fichiers intermédiaires. Les formats pris en charge incluent MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB et MBF, OASIS.MASK et OASIS.MBW.
Vérifie les données finales du générateur de masques par rapport à la définition originale du GDSII ou de l'OASIS. Il permet de suivre les mises à jour du design en confirmant la présence de modifications dans les données finales du masque.
Permet de consulter rapidement et facilement les données de conception au format GDSII et OASIS, ainsi que dans tous les formats de modèles et assemblages de données courants par le biais des offres de travail respectives.
Réduit le coût du masque et le temps d'écriture du masque en diminuant le nombre total de clichés grâce à un prétraitement avancé des données fracturées.
Permet une fusion multipuce hautement évolutive pour la fracture du NuFlare VSB11.
Étend le langage de programmation TCL disponible dans Calibre MDPView avec des fonctions dédiées permettant d'extraire et de valider des emplacements appropriés pour la métrologie des masques.