Calibre Fab Solution

Les outils Calibre LFD et Calibre ML-LFD capturent la réponse d'un design aux effets du processus de fabrication, afin que les ingénieurs puissent corriger les points chauds, les problèmes de variabilité et de fiabilité avant l'enregistrement.

Calibre Fab Insights intègre l'historique de fabrication des usines et tire parti de la séquence des processus pour atteindre le rendement cible. Calibre Fab Insights fournit des données exploitables et prévisibles afin d'améliorer l'efficacité des coûts et des ressources.

Les solutions Calibre Mask and Wafer Defect Management (MDM/WDM) fournissent une analyse des résultats d'inspection et des informations sur les défauts confirmés pour des cycles de prédiction et d'apprentissage supervisés.

Le générateur de configuration synthétique Calibre LSG accélère l'augmentation du rendement et facilite la conception dès les premiers stades de développement du processus. Cela permet de découvrir les points névralgiques de la lithographie très tôt dans le processus de développement technologique.

Calibre SONR intègre les modèles d'apprentissage automatique Calibre à l'architecture de base de Calibre afin d'améliorer la productivité et la précision de la détection et du diagnostic des défauts d'usine.

Calibre Stress Correction prédit efficacement les valeurs de décalage sur chacune des tranchées et corrige la distorsion de la tranchée afin de garantir la fabricabilité des dispositifs de mémoire 3D.