Calibre Curvilinéaire MDP

Les exigences en matière de modelage des procédés lithographiques de nouvelle génération et la nécessité de réduire les coûts de fabrication ont incité les lithographes à explorer les avantages des masques curvilignes. De nombreuses études étayées par les résultats expérimentaux ont démontré l'avantage lithographique des photomasques curvilignes par rapport aux approximations rectilignes. La fabricabilité des masques curvilinéaires a été limitée en raison de l'architecture des générateurs de faisceaux à forme variable, ce qui les a rendus prohibitifs tant du point de vue de la préparation des données que de l'écriture des masques. La disponibilité de machines de gravure de masques multifaisceaux a permis de lever ces obstacles et de concrétiser l'introduction de masques curvilinéaires.

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La suite d'outils Calibre Curvilinear MDP permet de poursuivre sans heurts les manipulations de données requises pour les techniques d'amélioration de la résolution (RET), telles que l'insertion de fonctionnalités d'assistance à la sous-résolution (SRAF) et la correction du processus optique (OPC), et la correction du processus de masque (MPC) en format de données de masque en une seule fois.

Traditionnellement, les graveurs de masques multifaisceaux prenaient en charge les données linéaires par morceaux (PWL) dans leurs chemins de données. Les fournisseurs de machines de création de masques multifaisceaux ont récemment introduit la prise en charge native du multigone sur la nouvelle génération d'outils de création de masques multifaisceaux. Le but de Multigon est de représenter des données curvilinéaires avec un format de courbe natif pour compacter la taille des fichiers dans les flux de masques. Le nombre de sommets utilisés pour représenter les données multigonales est nettement inférieur à celui utilisé pour représenter les données linéaires par morceaux, ce qui a permis de réduire la taille du fichier grâce à l'utilisation de courbes natives pour les données curvilignes.

L'image ci-dessous montre un exemple de PWL à gauche et d'un multigone à droite.

La solution Calibre Curvilinear MDP prend en charge les flux de fracture multifaisceaux basés sur le multigone et est activée avec les derniers formats multifaisceaux, tels que MBW 3.0 d'IMS et MBF 2.1 de NuFlare.

• Contrôle de distance multigonal : Le contrôle de distance multigonal est conçu pour mesurer la distance entre les sections de splines sur des couches multigones, afin de garantir le respect des contraintes de conception.
• Vérifications de la profondeur, de la largeur et du rapport profondeur/largeur des multigones : Le contrôle de la profondeur et de la largeur garantit que la largeur minimale d'une forme multigonale se situe dans une fourchette acceptable, en particulier lorsqu'elle est mesurée à une plage de profondeur donnée.
• Contrôle de l'angle multigonal : Le contrôle de l'angle évalue la géométrie du multigone en calculant l'angle de la spline à chaque point d'intérêt (POI) pour un rayon spécifié.
• Contrôle de courbure multigonal : Le contrôle de courbure est conçu pour évaluer la fluidité et la qualité de courbure de chaque section de spline de Bézier au sein d'un multigone en calculant le rayon de courbure minimum le long de son contour.

La photo ci-dessus montre des exemples de contrôle de distance externe (en haut à gauche), de contrôle de distance interne (en haut à droite), de détection de pointes (en bas à gauche) et de contrôle de profondeur et de largeur (en bas à droite).