Die Tools von Calibre Mask Data Preparation (MDP) ermöglichen die Konvertierung und Überprüfung von Maskendatenformaten für die Maskenherstellung, einschließlich der neuesten Mehrstrahl-Maskenformate, auf einer vollständig kompatiblen Calibre-Plattform.
Die Produkte von Calibre Mask Data Preparation sind Teil der integrierten Calibre-Plattform, sodass Sie alle Aufgaben zur Auflösungsverbesserung und zur Konvertierung von Maskendatenformaten in einem Batchlauf zur Maskenherstellung mit einer einzigen Steuersprache mit erstklassiger Leistung ausführen können.
Exportiert Daten zur Maskenherstellung direkt in Zielformate zum Schreiben von Masken, ohne die Tools zu wechseln oder große Zwischendateien zu erstellen. Zu den unterstützten Formaten gehören MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB und MBF, OASIS.MASK und OASIS.MBW.
Vergleicht die endgültigen Mask-Writer-Daten mit der ursprünglichen GDSII- oder OASIS-Definition. Es unterstützt die Nachverfolgung von Design-Updates, indem es das Vorhandensein von Änderungen in den endgültigen Maskendaten bestätigt.
Ermöglicht die schnelle und einfache Überprüfung von Konstruktionsdaten im GDSII- und OASIS-Format sowie in allen gängigen Mask Writer-Musterformaten und Datenassemblierungen über die jeweiligen Job Decks.
Reduziert die Maskenkosten und die Zeit für das Schreiben von Masken, indem die Gesamtzahl der Aufnahmen durch eine erweiterte Vorverarbeitung der fragilen Daten reduziert wird.
Ermöglicht hochgradig skalierbares chipübergreifendes Merging für NuFLARE VSB11-Frakturen.
Erweitert das in Calibre MDPView verfügbare TCL-Programmiersprachenset um spezielle Funktionen, die die Extraktion und Validierung geeigneter Stellen für die Maskenmesstechnik unterstützen.