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Übersicht

Calibre Defect Management

Die Lösungen von Calibre Defect Management bieten eine designorientierte Analyse und Reduzierung von Wafer- und Maskendefekten in vollem Umfang, um den Durchsatz zu verbessern und die Ertragssteigerung zu beschleunigen. Unsere Tools interagieren mit Inspektionstools und führen eine genaue Fehlercharakterisierung, Ursachenanalyse und Reparaturverifizierung durch.


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Nutzen Sie mehrere Plattformen von der Konstruktion bis zur Fertigung

Die Lösungen von Calibre Defect Management führen eine Mustervergleichsanalyse durch und nutzen DRC/LVS für Entwurfsattribute und Netzkritikalitätsanalysen, die auf der Fehlerlokalisierung basieren. Die nahtlose Integration mit Designtools ermöglicht eine direkte Verbindung zwischen physischem Design und Fehlerinspektion.

Effizient und benutzerfreundlich

Von der Sonde zur Konstruktionsanalyse

Die Calibre Defect Management GUI integriert verschiedene Funktionen der Calibre-Konstruktionsanalyse und bietet verschiedene Funktionen für die fehlerbasierte Entwurfsanalyse, sodass Benutzer die Ursache der Fehler leicht identifizieren und beheben können.

Ein Werbebild, das eine musterbasierte Fehlergruppierung mit einer visuellen Darstellung gruppierter Fehler zeigt.
Intelligent und systematisch

Reduzierung der Auswahl von der BFI-Inspektion auf die SEM-Analyse

Calibre Defect Management bietet Downsampling-Anwendungen durch Integration mit Calibre SONR SONR-Techniken, einer auf maschinellem Lernen basierenden Ranking- und Prognosemethodik, zur Verbesserung der Fehlertrefferquote und zur Hervorhebung systematischer Muster mit begrenztem Stichprobenbudget für die SEM-Überprüfung.

Calibre-Softwareschnittstelle mit klarem, professionellem visuellen Design zur Hervorhebung des Defektmanagements
Akkurat und präzise

Auf SEM-Bildern basierende Defektanalyse

Die SEM-Bildverarbeitungsfunktion von Calibre Defect Management ermöglicht eine genaue Verankerung zwischen der Fehlerstelle auf der Maske/dem Wafer und der Fehlerstelle auf dem Layout. Techniken wie SEM-zu-Layout-Ausrichtung, Konturextraktion und SEM-basierte automatische Fehlerklassifizierung werden verwendet, um eine genaue Fehleranalyse sicherzustellen.

Calibre-Softwareschnittstelle, die einen Fachmann zeigt, der Softwarefehler auf einem Computerbildschirm verwaltet

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Beratungsdienste von Calibre

Wir helfen Ihnen bei der Einführung, Bereitstellung, Anpassung und Optimierung Ihrer komplexen Designumgebungen. Durch den direkten Zugang zu Technik und Produktentwicklung können wir auf tiefgreifendes Fach- und Fachwissen zurückgreifen.

Support-Center

Das Siemens Support Center bietet Ihnen alles an einem einfach zu bedienenden Ort -
Wissensdatenbank, Produktupdates, Dokumentation, Support-Fälle, Lizenz-/Bestellinformationen und mehr.

Design und Herstellung von Calibre IC-Geräten

Die Calibre-Toolsuite bietet eine genaue, effiziente und umfassende IC-Verifizierung und -Optimierung über alle Prozessknoten und Designstile hinweg und minimiert gleichzeitig den Ressourcenverbrauch und die Zeitpläne für das Tapeout.