Zapisovače masek s více paprsky (MBMW) umožňují použití ideálních zakřivených tvarů pro masky inverzní litografie (ILT), ale současné formáty rozvržení nestačí k efektivní reprezentaci složitých návrhů ILT od optické korekce přiblížení (OPC) přes vytváření masek. V roce 2019 jsme zahájili pracovní skupinu pro formát dat, abychom řešili potřebu křivočaré reprezentace dat pro MBMW. Pracovní skupina Curvilinear Data Format má členy ze společností EDA a pokročilých výrobců masek. V tomto příspěvku bude představena nutnost nového křivočarého formátu dat a cíle naší pracovní skupiny. Budeme diskutovat o pokroku a plánu pracovní skupiny. Verze tohoto příspěvku byla představena na konferenci IEEE SPIE v roce 2021 a zveřejněna ve sborníku konference.
