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Calibre FRACTURE
將遮罩製作資料直接匯出至目標遮罩寫入格式,而無需變更工具或建立大型中間檔案。支持的格式包括 MEBES、JEOL、微波、努弗拉 VSB 和 MBF、OASIS .MASK 和 OASIS.MBW。
Calibre Mask Data Preparation (MDP) 工具可以在完全兼容的 Calibre 平台中進行遮罩數據格式轉換和驗證,包括在完全兼容的 Calibre 平台中的最新多光束遮罩格式。
Calibre Mask Data Preparation 產品是整合式 Calibre 平台的一部分,使您可以使用單一控制語言以同級最佳性能的單一控制語言在一次遮罩製造批次運行中完成所有解析度增強處理和遮罩數據格式轉換任務。

將遮罩製作資料直接匯出至目標遮罩寫入格式,而無需變更工具或建立大型中間檔案。支持的格式包括 MEBES、JEOL、微波、努弗拉 VSB 和 MBF、OASIS .MASK 和 OASIS.MBW。

根據原始 GDSII 或 OASIS 定義檢查最終遮罩編寫器資料。它通過確認最終遮罩數據中有變更來支持跟踪設計更新。

透過各自的工作組,可以快速輕鬆地檢閱 GDSII 和 OASIS 格式的設計資料,以及所有流行的遮罩寫入器模式格式和資料組合。

透過進階預先處理破裂資料,降低總拍攝次數,降低遮罩成本和遮罩寫入時間。

為 NuFlare VSB11 斷裂實現高度可擴展的跨晶片合併。

擴展 Calibre MDPView 中可用的 tcl 編程語言集,具有專用功能,支持提取和驗證適合遮罩測量的位置。