概述
Calibre Defect Management
Calibre Dault Management 解決方案提供全流程設計導向晶圓和遮罩瑕疵分析和減少，以提高輸送量並加速產量提升。我們的工具與檢測工具互動，並執行準確的缺陷分析、根本原因分析和修復驗證。
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利用多個設計到製造平台
Calibre Dault Management 解決方案執行基於模式匹配的缺陷分組，並利用 DRC/LVS 進行基於缺陷位置的設計屬性和網絡重要性分析。與設計工具的無縫整合可促進實體設計和缺陷檢查之間的直接連接。
高效且用戶友好
交叉探針進行設計分析
Calibre Dault Management GUI 集成了各種 Calibre 設計分析功能，並提供不同的基於缺陷的設計引導分析功能，以便用戶可以輕鬆識別和修復缺陷的根本原因。
智慧且系統
從 BFI 檢測到 SEM 分析的向下選擇
Calibre Deficient Management 透過整合 Calibre SONR 技術（以機器學習為基礎的排名和預測方法）來提供下取樣應用程式，以提高缺陷入率，並突出具有限採樣預算的 SEM 審查的系統模式。
準確而精確
基於 SEM 圖像的缺陷分析
Calibre Dault Management SEM 影像處理功能可在遮罩/晶圓上的瑕疵位置與配置上的瑕疵位置之間準確固定。使用 SEM-至配置對齊、等等技術，以及基於 SEM 的自動缺陷分類，以確保精確的缺陷分析。
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