Calibre Mask Data Preparation

Calibre Mask Data Preparation (MDP) 工具支持掩模数据格式的转换和验证，包括完全兼容的 Calibre 平台中的最新多光束掩模格式。

Calibre Mask 数据准备产品

Calibre Mask Data Preparation 产品是集成式 Calibre 平台的一部分，使您能够使用具有一流性能的单一控制语言在一次口罩制造批量运行中完成所有分辨率增强处理和掩模数据格式转换任务。

产品

将制作掩码的数据直接导出为目标掩码写入格式，无需更改工具或创建大型中间文件。支持的格式包括 MEBES、JEOL、美光、nuFlare VSB 和 MBF、OASIS.MASK 和 OASIS.MBW。

产品

根据原始的 GDSII 或 OASIS 定义检查最终的掩码写入器数据。它支持通过确认最终掩模数据中是否存在变化来跟踪设计更新。

产品

支持通过相应的作业平台快速轻松地查看 GDSII 和 OASIS 格式的设计数据，以及所有流行的掩码编写器模式格式和数据集合的设计数据。

产品

通过对分离数据的高级预处理降低总拍摄次数，从而降低掩码成本和掩码写入时间。

产品

支持高度可扩展的跨芯片合并，以解决 NuFlare VSB11 断裂问题。

产品

扩展了 Calibre MDPView 中可用的 tcl 编程语言集，其专用功能支持提取和验证合适的掩膜计量位置。