Calibre Fab 解决方案

Calibre LFD和Calibre ML-LFD工具记录了设计对制造过程影响的响应，因此工程师可以在流片前修复热点、可变性和可靠性问题。

Calibre Fab Insights整合了晶圆厂的制造历史，并利用工艺顺序来实现目标产量。Calibre Fab Insights提供可操作和可预测的数据，以提高成本和资源效率。

Calibre 掩模和晶圆缺陷管理 (MDM/WDM) 解决方案提供检测结果分析和确认的缺陷信息，以进行有监督的预测和学习周期。

Calibre LSG 合成布局生成器可在早期工艺开发期间加速产量提高和设计支持。它提高了在技术开发过程早期发现光刻热点的能力。

Calibre SONR将Calibre机器学习模型与核心Calibre架构集成在一起，以提高晶圆厂缺陷检测和诊断的效率和精度。

Calibre 应力校正可有效预测每个沟槽的位移值并校正沟槽变形，从而确保 3D 存储设备的可制造性。