Calibre Curvilinear MDP

Zahtevi za uzorkovanje litografskih procesa sledeće generacije i potreba da se smanje troškovi proizvodnje naterali su litografe da istraže prednosti krivulinijskih maski. Višestruke studije potkrepljene eksperimentalnim rezultatima pokazale su litografsku prednost krivolinijskih fotomaska u odnosu na pravolinijske aproksimacije. Proizvodljivost krivolinijskih maski ograničena je zbog arhitekture pisača greda promenljivog oblika, što ga je učinilo zabranjenim kako u pripremi podataka o maskama, tako i u perspektivi pisanja maski. Dostupnost pisaca maski sa više zraka uklonila je ove prepreke na putevima i dovela uvođenje krivulinijskih maski mnogo bliže stvarnosti.

Pročitajte Krive napred! IC proizvodnja priprema se za krivolinijske maske da biste saznali više o prednostima krivolinijskih maski.

Paket alata Calibre Curvilinear MDP omogućava besprekoran nastavak manipulacija podacima potrebnih za tehnike poboljšanja rezolucije (RET), kao što su umetanje funkcija pomoći u podrezoluciji (SRAF) i optička korekcija procesa (OPC) i korekcija procesa maske (MPC) u konverziju formata podataka maske u jednom serijskom radu.

Tradicionalno pisci maski sa više zraka podržavaju podatke Piecevise-Linear (PVL) na svojim putevima podataka. Nedavno su dobavljači pisača maski sa više zraka uveli izvornu podršku za više gona na novoj generaciji alata za pisanje maski sa više zraka. Svrha multigona je da predstavi krivolinijske podatke sa izvornim formatom krive za zbijanje veličine datoteke u tokovima maske. Broj vrhova koji se koriste za predstavljanje podataka sa više ugona znatno je manji od vrhova koji se koriste za predstavljanje Piecevise-Linear podataka, što rezultira smanjenjem veličine datoteke korišćenjem nativnih krivi za krivolinijske podatke.

Slika ispod prikazuje primer PVL-a sa leve strane i multigona sa desne strane.

Calibre Curvilinear MDP rešenje podržava protoke preloma više zraka zasnovane na multigonu i omogućeno je najnovijim multibeam formatima kao što su MBV 3.0 iz IMS-a i MBF 2.1 iz NuFlare.

• Provera udaljenosti u više ugona: Provera udaljenosti višeguta dizajnirana je za merenje rastojanja između delova splajna na slojevima više gona, osiguravajući usklađenost sa ograničenjima dizajna.
• Provere širine dubine i odnosa širine dubine: Provera širine dubine osigurava da je minimalna širina oblika višegugona unutar prihvatljivog opsega, posebno kada se meri u datom opsegu dubine.
• Provera višegugona ugla: Provera ugla procenjuje geometriju multigona izračunavanjem ugla splajna na svakoj tački interesa (POI) za određeni radijus.
• Provera zakrivljenosti u više ugona: Provera zakrivljenosti dizajnirana je da proceni glatkoću i kvalitet savijanja svakog Bezierovog preseka splajna unutar multigona izračunavanjem minimalnog radijusa zakrivljenosti duž njegove konture.

Gornja slika prikazuje primere spoljne provere udaljenosti (gore levo), unutrašnje provere udaljenosti (gore desno), otkrivanja šiljaka (dole levo) i provere širine dubine (donje desno).