Instrumentele Calibre Mask Data Preparation (MDP) permit conversia și verificarea formatelor de date de mască pentru fabricarea măștilor, inclusiv cele mai recente formate de mască multi-beam într-o platformă Calibre complet compatibilă.
Produsele Calibre Mask Data Preparation fac parte din platforma integrată Calibre, permițându-vă să finalizați toate sarcinile de procesare de îmbunătățire a rezoluției și să mascați sarcinile de conversie a formatelor de date într-o singură rulare de fabricare a măștilor utilizând un singur limbaj de control cu cele mai bune performanțe din clasă.
Exportează masca făcând date direct în formatele de scriere a măștilor țintă fără a schimba instrumentele sau a crea fișiere intermediare mari. Formatele acceptate includ MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB și MBF, OASIS.MASK și OASIS.MBW.
Verifică datele finale ale scriitorului de mască în raport cu definiția originală GDSII sau OASIS. Acceptă urmărirea actualizărilor de proiectare prin confirmarea prezenței modificărilor în datele finale ale măștii.
Permite revizuirea rapidă și ușoară a datelor de proiectare în format GDSII și OASIS, precum și în toate formatele populare de tipare de scriere de măști și ansamblurile de date prin pachetele de sarcini respective.
Reduce costul mascării și timpul de scriere a măștii prin scăderea numărului total de fotografii prin pre-procesarea avansată a datelor fracturate.
Permite îmbinarea cu cipuri încrucișate extrem de scalabilă pentru fractura NuFlare VSB11.
Extinde setul de limbaje de programare tcl disponibil în Calibre MDPView cu funcții dedicate care susțin extragerea și validarea locațiilor adecvate pentru metrologia măștilor.