
Calibre EUV
Suport cuprinzător care abordează provocările unice ale EUV cu ARN ridicat, cum ar fi optica anamorfă și modelarea 3D a mascii pentru a ține cont de efectele de umbrire.
Cererea insaciabilă de circuite integrate (IC) continuă să conducă la dimensiuni critice mai mici. Procesele de fotolitografie, inclusiv ultraviolete extreme (EUV), prezintă din ce în ce mai multă complexitate și volum de date. Soluțiile noastre de litografie computațională permit activarea tehnologiei rentabile.
Atât provocările litografice, cât și complexitatea computațională asociată cu nodurile avansate de proces creează o nevoie de capacități avansate în software-ul și hardware-ul litografiei computaționale. Soluția Calibre oferă cea mai bună precizie, viteză și cost de proprietate din clasă.

Apropierea optică densă și corecția procesului pentru a permite fabricarea profundă a submicronilor.
Inserează caracteristicile de asistență pentru sub-rezoluție (SRAF) într-un design.
Simulare puternică cu cip complet și analiză litografică.

GUI folosit pentru a lansa o mare varietate de aplicații și pentru a vizualiza rezultatele.

Motor de calibrare extrem de scalabil pentru modele optice, rezistente și gravare.
recție optică de proximitate rapidă, inversă bazată pe pixeli.
GUI ușor de utilizat pentru optimizarea sursei de iluminare.