As ferramentas Calibre Mask Data Preparation (MDP) permitem a conversão e verificação do formato de dados da máscara para fabricação de máscaras, incluindo os formatos mais recentes de máscara multifeixe em uma plataforma Calibre totalmente compatível.
Os produtos Calibre Mask Data Preparation fazem parte da plataforma Calibre integrada, permitindo que você conclua todas as tarefas de processamento de aprimoramento de resolução e conversão de formato de dados de máscara em um lote de fabricação de máscaras usando uma única linguagem de controle com o melhor desempenho da categoria.
Exporta dados de criação de máscaras diretamente para os formatos de gravação de máscaras de destino sem alterar ferramentas ou criar grandes arquivos intermediários. Os formatos suportados incluem MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB e MBF, OASIS.MASK e OASIS.MBW.
Verifica os dados finais do gravador de máscaras em relação à definição original do GDSII ou do OASIS. Ele suporta o rastreamento de atualizações de design confirmando a presença de alterações nos dados finais da máscara.
Permite uma revisão rápida e fácil dos dados de projeto nos formatos GDSII e OASIS, bem como em todos os formatos populares de padrões de gravadores de máscaras e conjuntos de dados por meio dos respectivos decks de trabalho.
Reduz o custo da máscara e o tempo de gravação da máscara diminuindo a contagem total de fotos por meio do pré-processamento avançado dos dados fraturados.
Permite a fusão entre chips altamente escalável para a fratura NuFlare VSB11.
Amplia o conjunto de linguagens de programação tcl disponível no Calibre MDPview com funções dedicadas que suportam a extração e validação de locais adequados para metrologia de máscaras.