Calibre Curvilinear MDP

Os requisitos de padronização dos processos litográficos de próxima geração e a necessidade de manter os custos de fabricação baixos levaram os litógrafos a explorar as vantagens das máscaras curvilíneas. Vários estudos apoiados pelos resultados experimentais demonstraram a vantagem litográfica das fotomáscaras curvilíneas sobre as aproximações retilíneas. A capacidade de fabricação de máscaras curvilíneas foi limitada devido à arquitetura dos gravadores de feixes de formato variável, o que a tornou proibitiva tanto do ponto de vista da preparação de dados da máscara quanto da escrita da máscara. A disponibilidade de escritores de máscaras com vários feixes removeu esses obstáculos e aproximou muito a introdução de máscaras curvilíneas da realidade.

Leia Curvas à frente! Fabricação de IC se prepara para máscaras curvilíneas para saber mais sobre os benefícios das máscaras curvilíneas.

O conjunto de ferramentas Calibre Curvilinear MDP permite a continuação perfeita das manipulações de dados necessárias para técnicas de aprimoramento de resolução (RET), como inserção de recursos de assistência à sub-resolução (SRAFs) e correção óptica de processos (OPC) e correção de processos de máscara (MPC) para a conversão do formato de dados de máscara em uma única execução em lote.

Tradicionalmente, os gravadores de máscaras multifeixe oferecem suporte a dados Piecewise-Linear (PWL) em seus caminhos de dados. Recentemente, fornecedores de gravadores de máscaras multifeixe introduziram o suporte nativo de multigons na nova geração de ferramentas de gravação de máscaras multifeixe. O objetivo do multigon é representar dados curvilíneos com formato de curva nativo para compactação de tamanho de arquivo nos fluxos de máscara. O número de vértices usados para representar os dados multigonais é substancialmente menor do que os vértices usados para representar os dados lineares por partes, resultando na redução do tamanho do arquivo com o uso de curvas nativas para dados curvilíneos.

A imagem abaixo mostra um exemplo de PWL à esquerda e multigon à direita.

A solução Calibre Curvilinear MDP suporta fluxos de fratura multifeixe baseados em multigonais e é habilitada com os formatos multifeixe mais recentes, como MBW 3.0 da IMS e MBF 2.1 da NuFlare.

• Verificação de distância multigonal: A verificação de distância multigonal foi projetada para medir a distância entre seções estriadas em camadas multigonais, garantindo a conformidade com as restrições de projeto.
• Verificações de largura de profundidade multigonal e de proporção de largura de profundidade: A verificação de largura de profundidade garante que a largura mínima de uma forma multigonal esteja dentro da faixa aceitável, especificamente quando medida em uma determinada faixa de profundidade.
• Verificação de ângulo multigonal: A verificação de ângulo avalia a geometria do multigonal calculando o ângulo estriado em cada ponto de interesse (POI) para um raio especificado.
• Verificação de curvatura multigonal: A verificação de curvatura foi projetada para avaliar a suavidade e a qualidade da curvatura de cada seção estriada de Bezier dentro de um multigonal, calculando o raio mínimo de curvatura ao longo de seu contorno.

A imagem acima mostra exemplos de verificação de distância externa (canto superior esquerdo), verificação de distância interna (canto superior direito), detecção de pico (canto inferior esquerdo) e verificação de profundidade e largura (canto inferior direito).