Calibre Curvilinear MDP

Wymagania dotyczące wzorcowania procesów litograficznych nowej generacji i konieczność obniżenia kosztów produkcji zmusiły litografów do zbadania zalet masek krzywoliniowych. Wiele badań popartych wynikami eksperymentalnymi wykazało przewagę litograficzną krzywoliniowych fotomask nad aproksymacjami prostoliniowymi. Możliwość produkcji masek krzywoliniowych została ograniczona ze względu na architekturę pisaczy belek o zmiennym kształcie, co czyniło go wygórowanym zarówno z perspektywy przygotowania danych masek, jak i pisania masek. Dostępność pisarzy masek wielowiązkowych usunęła te przeszkody i znacznie przybliżyła wprowadzenie krzywoliniowych masek do rzeczywistości.

Przeczytaj Krzywe do przodu! Produkcja IC przygotowuje się do masek krzywoliniowych aby dowiedzieć się więcej o zaletach masek krzywoliniowych.

Pakiet narzędzi Calibre Curvilinear MDP umożliwia bezproblemową kontynuację manipulacji danymi wymaganych dla technik zwiększania rozdzielczości (RET), takich jak wstawianie funkcji wspomagania rozdzielczości (SRAF) i optyczna korekta procesu (OPC) oraz korekta procesu maski (MPC) do konwersji formatu danych maski w jednym uruchomieniu wsadowym.

Tradycyjnie twórcy masek wielowiązkowych obsługują dane Piecewise-Linear (PWL) w swoich ścieżkach danych. Niedawno producenci pisarzy masek wielowiązkowych wprowadzili natywną obsługę multigon w nowej generacji narzędzi do pisania masek wielowiązkowych. Celem wielokąta jest reprezentowanie danych krzywoliniowych z rodzimym formatem krzywej dla zagęszczania rozmiaru pliku w przepływie masek. Liczba wierzchołków użytych do reprezentowania danych wielokątnych jest znacznie mniejsza niż wierzchołków użytych do reprezentowania danych Piecewise-Linear, co skutkuje zmniejszeniem rozmiaru pliku w wyniku użycia krzywych natywnych dla danych krzywoliniowych.

Poniższy obrazek pokazuje przykład PWL po lewej i multigon po prawej stronie.

Rozwiązanie Calibre Curvilinear MDP obsługuje przepływy wielowiązkowe oparte na wieloboku i jest włączone w najnowsze formaty wielowiązkowe, takie jak MBW 3.0 firmy IMS i MBF 2.1 od NuFlare.

• Kontrola odległości wielokątów: Kontrola odległości wielokątów ma na celu pomiar odległości między sekcjami splajnu na warstwach wielokątnych, zapewniając zgodność z ograniczeniami projektowymi.
• Kontrola szerokości głębokości i współczynnika szerokości głębokości: Kontrola szerokości głębokości zapewnia, że minimalna szerokość kształtu wielokąta mieści się w dopuszczalnym zakresie, szczególnie w przypadku pomiaru w danym zakresie głębokości.
• Kontrola kąta wielokąta: Kontrola kąta ocenia geometrię wielokąta poprzez obliczenie kąta splajnu w każdym punkcie zainteresowania (POI) dla określonego promienia.
• Kontrola krzywizny wielokątnej: Kontrola krzywizny ma na celu ocenę gładkości i jakości zgięcia każdego odcinka splajnu Beziera w obrębie wielokąta poprzez obliczenie minimalnego promienia krzywizny wzdłuż jego konturu.

Powyższy rysunek przedstawia przykłady kontroli odległości zewnętrznej (lewy górny), wewnętrznej kontroli odległości (w prawym górnym rogu), wykrywania kolców (w lewym dolnym rogu) i kontroli głębokości szerokości (w prawym dolnym rogu).