Skip to main content
Šī lapa tiek parādīta, izmantojot automātisko tulkošanu. Tā vietā skatīt angļu valodā?

Pārskats

Calibre nmCLSRAF

Calibre NMCLsRAF veic ILT vadītu, uz veidni balstītu SRAF sintēzi uz izliektām konstrukcijām, lai nodrošinātu precīzu litogrāfijas kontroli, konsekvenci apakšizšķirtspējas palīgfunkciju (SRAF) izvietojumā, atbilstību masku ražošanai (MRC) un ātru integrētās shēmas (IC) ražošanas darbības laiku.

Tehniskais dokuments

Uzlaboti ILT risinājumi fotonikas dizainu ražošanai

Pēdējā desmitgadē fotonikas tehnoloģija ir bijusi jauna optisko telekomunikāciju un optisko starpsavienojumu tehnoloģija mikroelektronikā. Tā rezultātā liela fotonikas dizaina metožu daudzveidība ir apvienojusies ar ļoti izaicinošām skalām un formām. Šādu izliektu un kritisku fotonikas formu ražošanai nepieciešamas uzlabotas izšķirtspējas uzlabošanas metodes (RET), tostarp apgrieztās litogrāfijas metodes (ILT) ar 193 nm iegremdēšanas litogrāfiju. Šajā rakstā mēs pētām vairāku fotonikas ierīču ražošanas problēmas, izmantojot uzlabotus ILT risinājumus, un SRAF ievietošanas ietekmi uz labas lito kvalitātes nodrošināšanu, tostarp malu izvietojuma kļūdu (EPE), PVband un līnijas malu raupjumu (LER). Mēs parādīsim, kā mūsu Calibre ILT risinājumi ļauj izgatavot vissarežģītākos fotonikas dizainus.

A integrated circuit and printed circuit board
Galvenās iezīmes

Izliektas veidnes pilnas mikroshēmas SRAF ievietošanai

Uz veidnēm balstīta pieeja piedāvā litogrāfijas kvalitāti, kas līdzvērtīga ILT SRAF procesa-loga variācijas (PV josla), kopējā fokusa dziļuma (DOF) un attēla žurnāla slīpuma (ILS) ziņā, vienlaikus ievērojami uzlabojot izpildlaika efektivitāti — ātrāk nekā vietējā ILT SRAF sintēze.

Calibre NMCLsRAF piedāvātie resursi

Izpētiet mūsu piedāvātos resursus, lai uzzinātu vairāk par Calibre nmCLSRAF.

BUJ

Calibre NMCLsRAF Bieži uzdotie jautājumi

Vai esat gatavs uzzināt vairāk par Calibre?

Mēs esam gatavi, lai atbildētu uz jūsu jautājumiem! Sazinieties ar mūsu komandu jau šodien

Zvaniet: 1-800-547-3000

Runājiet ar ekspertu

Calibre konsultāciju pakalpojumi

Mēs palīdzam jums pieņemt, izvietot, pielāgot un optimizēt jūsu sarežģīto dizaina vidi. Tieša piekļuve inženierijām un produktu izstrādei ļauj mums izmantot dziļas jomas un priekšmetu zināšanas.

Konsultāciju pakalpojumi

Atbalsta centrs

Siemens atbalsta centrs nodrošina visu vienā ērti lietojamā vietā -
zināšanu bāze, produktu atjauninājumi, dokumentācija, atbalsta gadījumi, informācija par licencēm/pasūtījumiem un daudz kas cits.

Sazinieties ar atbalsta dienestu

Calibre IC dizains un ražošana

Calibre rīku komplekts nodrošina precīzu, efektīvu, visaptverošu IC verifikāciju un optimizāciju visos procesa mezglos un dizaina stilos, vienlaikus samazinot resursu izmantošanu un lentēšanas grafikus.

Mācieties no ekspertiem