칼리버 마스크 데이터 준비

Calibre Mask Data Preparcation (MDP) 도구를 사용하면 완전히 호환되는 Calibre 플랫폼에서 최신 멀티 빔 마스크 형식을 포함하여 마스크 제조를 위한 마스크 데이터 형식 변환과 검증이 가능해요.

칼리버 마스크 데이터 준비 제품

Calibre Mask Data Preparcation 제품은 통합 Calibre 플랫폼의 일부예요. 동급 최고의 성능으로 단일 제어 언어를 사용하여 모든 해상도 향상 처리와 마스크 데이터 형식 변환 작업을 한 번의 마스크 제조 배치 실행으로 완료할 수 있어요.

제품

도구를 바꾸거나 큰 중간 파일을 만들지 않고 마스크 제작 데이터를 타겟 마스크 쓰기 포맷으로 직접 내보냅니다.지원되는 형식으로는 MEBES, JEOL, 마이크로닉, 누플레어 VSB 및 MBF, OASIS.MASK, OASIS.MBW 등이 있어요.

제품

최종 마스크 라이터 데이터를 원본 GDSII 또는 OASIS 정의와 대조해서 검사해요.최종 마스크 데이터에 변경 사항이 있는지 확인하여 설계 업데이트 추적을 지원해요.

제품

GDSII와 OASIS 형식뿐만 아니라 널리 사용되는 모든 마스크 라이터 패턴 형식과 데이터 어셈블리의 설계 데이터를 각각의 작업 덱에서 빠르고 쉽게 검토할 수 있어요.

제품

분리된 데이터의 고급 전처리를 통해 총 샷 수를 줄여 마스크 비용과 마스크 쓰기 시간을 줄인대요.

제품

NuFlare VSB11 골절에 대해 확장성이 뛰어난 크로스 칩 병합을 가능하게 해요.

제품

Calibre MDPView에서 사용할 수 있는 tcl 프로그래밍 언어 세트를 마스크 계측에 적합한 위치의 추출과 검증을 지원하는 전용 기능으로 확장해요.