개요
Calibre 디펙트 매니지먼트
Calibre Defact Management 솔루션은 풀 플로우 설계 가이드 웨이퍼 및 마스크 결함 분석 및 감소를 제공하여 처리량을 개선하고 수율 상승을 가속화해요.저희 도구는 검사 도구와 상호 작용하여 정확한 결함 특성 분석, 근본 원인 분석 및 수정 검증을 수행해요.
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Calibre Defact Management 솔루션은 패턴 매칭 기반 결함 그룹화를 수행하고 결함 위치 기반 설계 속성 및 순 중요도 분석에 DRC/LVS를 활용해요.설계 도구와의 원활한 통합으로 물리적 설계와 결함 검사를 쉽게 연결할 수 있어요.
크로스 프로브와 설계 분석
Calibre Defact Management GUI는 다양한 Calibre 설계 분석 기능을 통합하고 다양한 결함 기반 설계 안내 분석 기능을 제공하므로 사용자가 결함의 근본 원인을 쉽게 식별하고 수정할 수 있어요.
BFI 검사부터 SEM 분석까지 다운 셀렉션
Calibre Defect Management는 기계 학습 기반 순위 및 예측 방법론인 Calibre SONR 기법과 통합하여 결함 적중률을 높이고 SEM 검토를 위한 제한된 샘플링 예산으로 체계적인 패턴을 강조하여 다운 샘플링 애플리케이션을 제공해요.
SEM 이미지 기반 결함 분석
Calibre Defect Management SEM 이미지 처리 기능으로 마스크/웨이퍼의 결함 위치와 레이아웃상의 결함 위치를 정확하게 고정할 수 있어요.정확한 결함 분석을 위해 SEM-레이아웃 정렬, 윤곽 추출, SEM 기반 자동 결함 분류 같은 기술이 사용돼요.
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칼리버 IC 설계 및 제조
칼리버 툴 스위트는 리소스 사용과 테이프아웃 일정을 최소화하면서 모든 프로세스 노드와 설계 스타일에서 정확하고 효율적이며 포괄적인 IC 검증 및 최적화를 제공해요.