칼리버 커빌리니어 MDP

차세대 리소그래피 프로세스의 패터닝 요구 사항과 제조 비용 절감의 필요성 때문에 리소그래퍼들은 커빌리니어 마스크의 장점을 연구하게 됐어요.실험 결과를 뒷받침하는 여러 연구에서 곡선형 포토마스크가 직선 근사치에 비해 리소그래피적으로 유리하다는 것이 증명됐어요.곡선형 마스크는 가변 모양의 빔 라이터 아키텍처로 인해 제조 가능성이 제한적이었는데, 이로 인해 마스크 데이터 준비와 마스크 쓰기 관점 모두에서 불가능했어요.멀티빔 마스크 라이터가 가능해지면서 이런 장애물이 사라졌고 곡선형 마스크의 도입이 현실에 훨씬 가까워졌어요.

읽었어요 앞으로의 곡선이에요!IC 제조사는 커빌리니어 마스크를 준비해요 커빌리니어 마스크의 효능에 대해 자세히 알아보려고 말이에요.

Calibre Curvilinear MDP 도구 세트를 사용하면 하위 해상도 보조 기능 (SRAF) 삽입과 광학 공정 보정 (OPC), 마스크 프로세스 보정 (MPC) 과 마스크 데이터 형식 변환과 같은 해상도 향상 기법 (RET) 에 필요한 데이터 조작을 한 번에 원활하게 계속할 수 있어요.

전통적으로 멀티빔 마스크 라이터는 데이터 경로에 PWL (조각별 선형) 데이터를 지원했어요.최근에 멀티빔 마스크 라이터 공급업체들이 차세대 멀티빔 마스크 라이터 툴에 네이티브 멀티곤 지원을 도입했어요.멀티곤의 목적은 마스크 흐름에서 파일 크기 압축을 위한 네이티브 커브 형식으로 곡선 데이터를 표현하는 거예요.멀티곤 데이터를 나타내는 데 사용되는 꼭짓점 수가 조각별 선형 데이터를 나타내는 데 사용되는 꼭짓점보다 훨씬 적어서 곡선형 데이터에 고유 곡선을 사용함으로써 파일 크기가 줄어들어요.

아래 이미지는 왼쪽이 PWL이고 오른쪽이 멀티곤인 예시예요.

Calibre Curvilinear MDP 솔루션은 멀티곤 기반의 멀티빔 파괴 흐름을 지원하며 IMS의 MBW 3.0과 NuFlare의 MBF 2.1 같은 최신 멀티빔 포맷으로 지원돼요.

• 멀티곤 거리 검사: 멀티곤 거리 검사는 멀티곤 레이어의 스플라인 섹션 사이의 거리를 측정하여 설계 제약을 준수하도록 설계됐어요.
• 멀티곤 깊이 너비 및 깊이 너비 비율 확인: 깊이 너비 검사는 특히 지정된 깊이 범위에서 측정할 때 멀티곤 모양의 최소 너비가 허용 범위 이내인지 확인합니다.
• 멀티곤 각도 체크: 각도 검사는 지정된 반경에 대해 각 관심 지점 (POI) 의 스플라인 각도를 계산해서 멀티곤의 기하학적 구조를 평가해요.
• 멀티곤 곡률 체크: 곡률 체크는 윤곽을 따른 최소 곡률 반경을 계산하여 멀티곤 내 각 베지어 스플라인 섹션의 부드러움과 굽힘 품질을 평가하도록 설계되었어요.

위 그림은 외부 거리 확인 (왼쪽 위), 내부 거리 확인 (오른쪽 위), 스파이크 감지 (왼쪽 아래), 깊이 너비 확인 (오른쪽 아래) 의 예를 보여줘요.