Calibre Mask Data Preparation

ツールを変更したり、大きな中間ファイルを作成したりすることなく、マスク作成データをターゲットのマスク書き込み形式に直接エクスポートします。サポートされているフォーマットには、MEBES、JEOL、マイクロニック、ニューフレアVSBとMBF、OASIS.MASK、OASIS.MBWなどがあります。

最終的なマスクライターのデータを元のGDSIIまたはOASIS定義と照合します。最終的なマスクデータに変更の有無を確認することで、デザインの更新を追跡できます。

GDSIIおよびOASIS形式の設計データだけでなく、すべての一般的なマスクライターパターン形式とデータアセンブリの設計データをそれぞれのジョブデッキからすばやく簡単に確認できます。

フラクチャされたデータの高度な前処理により総ショット数を減らすことで、マスクコストとマスク書き込み時間を削減します。

NuFlare VSB11フラクチャの拡張性の高いチップ間マージを可能にします。

Calibre MDPviewで利用できるtclプログラミング言語セットを、マスク計測に適した位置の抽出と検証をサポートする専用機能で拡張します。