概要
Calibre Stress Correction
Calibre Stress Correctionは、機械学習と従来の物理コンパクトモデルの両方を使用して、各トレンチのシフト値を効率的に予測し、トレンチの歪みを補正して、3Dメモリデバイスの製造可能性を確保します。
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主な機能
Calibre Stress Correctionは、高度なメモリデバイスの3Dスタックを切り抜けたディープトレンチの歪みを分析して補正します。
応力補正のためのフルチップトレンチシフト予測
Calibre Stress Correctionは、チップ全体のトレンチシフト予測を行い、必要な形状アライメントを実行します。機械学習エンジンと応力補正モデリングエンジンの両方が、フルチップ使用で数十億のトレンチシフトを処理できます。
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複素解像度のための機械学習インテリジェンス
Calibre Stress Correctionには、複雑なシフトの原因に関係なく、以前のテープアウトから過去のトレンチシフトデータを学習するニューラルネットワーク機械学習(ML)モデルが搭載されています。MLモデル学習は、同様の設計ルールと同じプロセスで新しいレイアウトでの応力補正のシフト値を簡単に予測する方法を提供します。
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履歴データを必要としないモデルベースの予測
Calibre Stress Correctionは、以前のシフト情報が利用できない場合に、コンパクトな物理モデルを使用してシフト予測を行います。シフト値は、以前のシフト測定の必要なく、モデルの物理パラメータと周囲のレイアウト情報に基づいて予測できます。
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キャリバーICの設計と製造
Calibreツールスイートは、リソースの使用量とテープアウトスケジュールを最小限に抑えながら、すべてのプロセスノードと設計スタイルにわたって正確で効率的かつ包括的なIC検証と最適化を実現します。