概要
Calibre Defect Management
Calibre Defect Management ソリューションでは、設計ガイド付きのウェーハとマスクの欠陥分析と低減をフルフローで行い、スループットを向上させ、収率上昇を加速させます。私たちのツールは検査ツールと相互作用し、正確な欠陥の特性評価、根本原因分析、修正検証を行います。
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設計から製造までの複数のプラットフォームを活用してください
CCalibre Defect Management ソリューションは、パターンマッチングベースの欠陥グループ分けを行い、DRC/LVSを活用して欠陥位置ベースの設計属性と正味重要度分析を行います。設計ツールとのシームレスな統合により、物理設計と欠陥検査を直接結びつけることが容易になります。
クロスプローブから設計分析まで
Calibre Defect Management GUIは、さまざまなCalibre設計分析機能を統合し、さまざまな欠陥ベースの設計ガイド付き分析機能を提供しているため、ユーザーは欠陥の根本原因を簡単に特定して修正できます。
BFI検査からSEM分析へのダウンセレクション
Calibre Defect Management は、機械学習ベースのランキングおよび予測方法論であるCalibre SONR技術と統合してダウンサンプリングアプリケーションを提供し、SEMレビュー用の限られたサンプリング予算で欠陥ヒット率を向上させ、系統的なパターンを強調します。
SEM画像ベースの欠陥分析
Calibre Defect Management SEM画像処理機能により、マスク/ウェーハ上の欠陥位置とレイアウト上の欠陥位置を正確に固定できます。正確な欠陥分析を保証するために、SEMとレイアウトのアライメント、輪郭抽出、SEMベースの自動欠陥分類などの技術が使用されています。
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Calibreコンサルティングサービス
複雑な設計環境の採用、展開、カスタマイズ、最適化を支援します。エンジニアリングと製品開発に直接アクセスすることで、分野と対象分野の深い専門知識を活用できます。
サポートセンター
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キャリバーICの設計と製造
Calibreツールスイートは、リソースの使用量とテープアウトスケジュールを最小限に抑えながら、すべてのプロセスノードと設計スタイルにわたって正確で効率的かつ包括的なIC検証と最適化を実現します。