Calibre Curvilinear Solutions

Calibre nmCLBIAS は、製造現場で強化されたCalibre NMBiasツールの曲線バージョンで、滑らかなバイアス結果と曲線設計向けの質の高いルールベースのリターゲティングを提供します。

Calibre nmCLOPC は、曲線のエッジに対してモデルベースの光学近接補正を実行して、マスクルールクリーンな、高忠実度、滑らかで一貫性のある出力を実現します。

Calibre nmCLMPC は、高度なノード曲線マスク製造における処理時間とマスクパターンの忠実度に対する期待に応えるため、曲線マスクのプロセス修正をサポートしています。

Calibre nmCLSRAF は、Calibre ILTエンジンから生成されたインバースリソグラフィー（ILT）の結果に基づいて、ルールベースの曲線SRAF挿入を実行できます。

Calibre Curvilinear MDP製品スイートは、曲線マスク用の完全なマスクデータ準備フローを提供し、MPC、MDP、OPCをシームレスに接続します。

マスクの合成と準備フローのさまざまな段階にわたる曲線MRCと検証を包括的にサポートします。