A többsugaras maszkírók (MBMW) lehetővé teszik az ideális görbe vonalú alakzatok használatát az inverz litográfiai (ILT) maszkokhoz, de a jelenlegi elrendezési formátumok nem elegendőek ahhoz, hogy az összetett ILT-terveket hatékonyan ábrázolják az optikai közelségkorrekciótól (OPC) a maszkok készítéséig. 2019-ben egy adatformátum munkacsoportot indítottunk el az MBMW görbe vonalbeli adatreprezentációjának szükségességének kezelésére. A Curvilinear Data Format munkacsoportnak tagjai vannak az EDA vállalatokból és a fejlett maszkgyártóktól. Ebben a cikkben bemutatjuk az új görbe vonalú adatformátum szükségességét és munkacsoportunk céljait. Megvitatjuk a munkacsoport előrehaladását és tervét. A cikk egy változatát 2021-ben az IEEE SPIE konferencián mutatták be, és közzétették a konferencia anyagában.
