Las herramientas de Calibre Mask Data Preparation (MDP) permiten la conversión y verificación del formato de los datos de las máscaras para la fabricación de máscaras, incluidos los últimos formatos de máscaras multihaz en una plataforma Calibre totalmente compatible.
Los productos Calibre Mask Data Preparation forman parte de la plataforma Calibre integrada, lo que le permite completar todas las tareas de mejora de la resolución, procesamiento y conversión de formatos de datos de máscaras en un solo lote de fabricación de máscaras con un único lenguaje de control con el mejor rendimiento de su clase.
Exporta los datos de creación de máscaras directamente a los formatos de escritura de máscaras de destino sin cambiar de herramienta ni crear archivos intermedios de gran tamaño. Los formatos compatibles incluyen MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB y MBF, OASIS.MASK y OASIS.MBW.
Compara los datos del escritor de la máscara final con la definición original de GDSII u OASIS. Soporta el seguimiento de las actualizaciones de diseño confirmando la presencia de cambios en los datos finales de la máscara.
Permite revisar rápida y fácilmente los datos de diseño en los formatos GDSII y OASIS, así como en todos los formatos de patrones y conjuntos de datos populares de escritura de máscaras a través de las respectivas plataformas de trabajo.
Reduce el coste de las máscaras y el tiempo de escritura de las máscaras al reducir el recuento total de disparos mediante el preprocesamiento avanzado de los datos fracturados.
Permite la fusión entre chips altamente escalable para la fractura del VSB11 de NuFlare.
Amplía el conjunto de lenguajes de programación TCL disponible en Calibre MDPView con funciones dedicadas que permiten extraer y validar las ubicaciones adecuadas para la metrología de máscaras.