Calibre MDP curvilíneo

Los requisitos de estampado de los procesos litográficos de próxima generación y la necesidad de mantener bajos los costes de fabricación han llevado a los litógrafos a explorar las ventajas de las máscaras curvilíneas. Varios estudios respaldados por los resultados experimentales han demostrado la ventaja litográfica de las fotomáscaras curvilíneas en comparación con las aproximaciones rectilíneas. La capacidad de fabricación de máscaras curvilíneas ha sido limitada debido a la arquitectura de las grabadoras de haces de forma variable, lo que las hacía prohibitivas tanto desde el punto de vista de la preparación de los datos de las máscaras como de la escritura de máscaras. La disponibilidad de escritoras de máscaras multihaz ha eliminado estos obstáculos y ha acercado mucho más la introducción de las máscaras curvilíneas a la realidad.

Leyó ¡Curvas hacia adelante! La fabricación de circuitos integrados se prepara para las máscaras curvilíneas para obtener más información sobre los beneficios de las máscaras curvilíneas.

El conjunto de herramientas Calibre Curvilinear MDP permite continuar sin problemas con las manipulaciones de datos necesarias para las técnicas de mejora de la resolución (RET), como la inserción de funciones de asistencia de subresolución (SRAF) y la corrección óptica del proceso (OPC) y la corrección del proceso de máscara (MPC) a la conversión del formato de datos de máscara en una sola ejecución por lotes.

Tradicionalmente, los escritores de máscaras multihaz admitían datos lineales por tramos (PWL) en sus rutas de datos. Hace poco, los vendedores de grabadoras de máscaras multihaz introdujeron la compatibilidad nativa con multigonos en la nueva generación de herramientas de escritura de máscaras multihaz. El propósito del multigonal es representar datos curvilíneos con un formato de curva nativo para compactar el tamaño del archivo en los flujos de máscaras. El número de vértices utilizado para representar los datos multigonales es sustancialmente inferior al de los vértices utilizados para representar los datos lineales por tramos, lo que se traduce en una reducción del tamaño del archivo debido al uso de curvas nativas para los datos curvilíneos.

La imagen de abajo muestra un ejemplo de PWL a la izquierda y multigonal a la derecha.

La solución MDP Curvilinear de Calibre admite flujos de fractura multihaz basados en multigonales y está disponible con los formatos multihaz más recientes, como el MBW 3.0 de IMS y el MBF 2.1 de NuFlare.

• Comprobación de distancia multigonal: La comprobación de distancia multigonal está diseñada para medir la distancia entre las secciones estriadas de las capas multigonales y garantizar el cumplimiento de las restricciones de diseño.
• Comprobaciones de la relación entre profundidad, ancho y profundidad multigonal: La comprobación de profundidad y ancho garantiza que la anchura mínima de una forma multigonal está dentro del rango aceptable, especialmente cuando se mide en un rango de profundidad determinado.
• Comprobación de ángulos multigonales: la comprobación de ángulos evalúa la geometría del multigono calculando el ángulo estriado en cada punto de interés (POI) de un radio específico.
• Comprobación de curvatura multigonal: la comprobación de curvatura está diseñada para evaluar la suavidad y la calidad de doblado de cada sección estriada de Bézier dentro de un multigono calculando el radio de curvatura mínimo a lo largo de su contorno.

La imagen de arriba muestra ejemplos de control de distancia externo (arriba a la izquierda), control de distancia interno (arriba a la derecha), detección de picos (abajo a la izquierda) y control de profundidad y ancho (abajo a la derecha).