Calibre Curvilinear MDP

Οι απαιτήσεις σχεδιασμού των λιθογραφικών διαδικασιών επόμενης γενιάς και η ανάγκη μείωσης του κόστους κατασκευής ώθησαν τους λιθογράφους να διερευνήσουν τα πλεονεκτήματα των καμπυλόγραμμων μάσκων. Πολλαπλές μελέτες που υποστηρίζονται από τα πειραματικά αποτελέσματα έχουν καταδείξει το λιθογραφικό πλεονέκτημα των καμπυλόγραμμων φωτομάσκων έναντι των ευθύγραμμων προσεγγίσεων. Η κατασκευασιμότητα των καμπυλόγραμμων μάσκων ήταν περιορισμένη λόγω της αρχιτεκτονικής των συγγραφέων δέσμης μεταβλητού σχήματος, γεγονός που το έκανε απαγορευτικό τόσο από την προετοιμασία δεδομένων μάσκας όσο και από την άποψη της γραφής μάσκας. Η διαθεσιμότητα συγγραφέων μάσκας πολλαπλών ακτίνων έχει αφαιρέσει αυτά τα εμπόδια και έφερε την εισαγωγή καμπυλόγραμμων μάσκων πολύ πιο κοντά στην πραγματικότητα.

Διαβάστε Καβγά μπροστά! Η κατασκευή ολοκληρωμένου κυκλώματος προετοιμάζεται για καμπύλες μάσκες για να μάθετε περισσότερα σχετικά με τα οφέλη των καμπυλόγραμμων μάσκων.

Η σουίτα εργαλείων Calibre Curvilinear MDP επιτρέπει την απρόσκοπτη συνέχιση των χειρισμών δεδομένων που απαιτούνται για τεχνικές βελτίωσης ανάλυσης (RET), όπως εισαγωγή λειτουργιών υποανάλυσης (SRAF) και διόρθωση οπτικής διεργασίας (OPC) και διόρθωση διαδικασίας μάσκας (MPC) στη μετατροπή μορφής δεδομένων μάσκας σε μία παρτίδα εκτέλεσης.

Παραδοσιακά, οι συγγραφείς μάσκας πολλαπλών ακτίνων υποστηρίζουν δεδομένα Piecewise-Linear (PWL) στις διαδρομές δεδομένων τους. Πρόσφατα, οι προμηθευτές συγγραφέων μάσκας πολλαπλών δέσμων έχουν εισαγάγει εγγενή υποστήριξη πολλαπλών ακτίνων σε νέα γενιά εργαλείων εγγραφής μάσκας πολλαπλών δέσμων. Ο σκοπός του multigon είναι να αναπαραστήσει καμπυλόγραμμα δεδομένα με εγγενή μορφή καμπύλης για συμπύκνωση μεγέθους αρχείου στις ροές μάσκας. Ο αριθμός των κορυφών που χρησιμοποιούνται για την αναπαράσταση των δεδομένων πολλαπλών διαστάσεων είναι σημαντικά μικρότερος από τις κορυφές που χρησιμοποιούνται για την αναπαράσταση των δεδομένων Piecewise-Linear, με αποτέλεσμα τη μείωση του μεγέθους αρχείου από τη χρήση εγγενών καμπυλών για καμπυλόγραμμα δεδομένα.

Η παρακάτω εικόνα δείχνει ένα παράδειγμα PWL στα αριστερά και multigon στα δεξιά.

Η λύση Calibre Curvilinear MDP υποστηρίζει ροές θραύσης πολλαπλών ακτίνων με βάση το multigon και ενεργοποιείται με τις πιο πρόσφατες μορφές πολλαπλών ακτίνων όπως το MBW 3.0 από το IMS και το MBF 2.1 από το NuFlare.

• Έλεγχος απόστασης πολλαπλών μονάδων: Ο έλεγχος απόστασης πολλαπλών μονάδων έχει σχεδιαστεί για τη μέτρηση της απόστασης μεταξύ των τμημάτων σπλοκ σε στρώματα πολλαπλών διαστάσεων, διασφαλίζοντας τη συμμόρφωση με τους περιορισμούς σχεδιασμού.
• Έλεγχοι αναλογίας πλάτους βάθους και βάθους πολλαπλών διαστάσεων: Ο έλεγχος πλάτους βάθους διασφαλίζει ότι το ελάχιστο πλάτος ενός σχήματος πολλαπλών διαστάσεων βρίσκεται εντός του αποδεκτού εύρους, ειδικά όταν μετράται σε δεδομένο εύρος βάθους.
• Έλεγχος γωνίας πολλαπλών ακτίνων: Ο έλεγχος γωνίας αξιολογεί τη γεωμετρία του multigon υπολογίζοντας τη γωνία κλίσης σε κάθε Σημείο Ενδιαφέροντος (POI) για μια καθορισμένη ακτίνα.
• Έλεγχος καμπυλότητας πολλαπλών ακτίνων: Ο έλεγχος καμπυλότητας έχει σχεδιαστεί για να αξιολογεί την ομαλότητα και την ποιότητα κάμψης κάθε τομής σχισμής Bezier μέσα σε ένα multigon υπολογίζοντας την ελάχιστη ακτίνα καμπυλότητας κατά μήκος του περιγράμματός του.

Η παραπάνω εικόνα δείχνει παραδείγματα ελέγχου εξωτερικής απόστασης (επάνω αριστερά), ελέγχου εσωτερικής απόστασης (επάνω δεξιά), ανίχνευσης ακίδων (κάτω αριστερά) και ελέγχου βάθους (κάτω δεξιά).