主要功能
曲線式 OPC 引擎
Calibre 曲線 OPC 引擎可以將矩形形狀轉換為曲線圖案，並確保達到 EPE 目標。它對曲線形狀執行 SRAF 列印檢查，並同時套用 MRC 約束，以確保高品質的曲線遮罩產生。
快速執行時間和品質
快速全芯片曲線 OPC 解決方案
Calibre NMCloPC 可實現混合 ILT 曲線 OPC 流程，與完整 ILT 解決方案相比，可以提供所需的平版畫質量，以更快的運行時間。此流程可用於產生矽光子學所需的曲線遮罩，或用於邏輯或記憶體的直線設計。
效率和準確性
原生曲線多邊形表示
與依賴曼哈頓邊緣移動的傳統 OPC 引擎不同，Calibre NMCloPC 會將原生曲線多邊形表現法套用貝澤爾雲形線，並透過移動「OPC 曲線」來執行雲形線型校正。這種新格式不僅有益於精確度的改進，還可以減輕曲線遮罩引起的資料大小爆炸。
圖案保真度和準確度
用於曲線遮罩的先進 OPC 建模解決方案
Calibre OPC 核心模型可以準確地為曲線遮罩的遮罩 3D 電磁場效果進行模型。使用 SEM 輪廓進行模型校準至曲線模式，可以描述晶圓上的真實行為。先進的 Calibre nmcLoPC 技術可最大程度地提高了平版印刷權限，並達到所需的 OPC 準確度。
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