主要功能
曲線設計的遮罩過程校正 (MPC)
Calibre NMCLMPC 對具有曲線多邊形的輸入佈局執行遮罩處理校正 (MPC),例如反向光學技術 (ILT) OPC 產生的版面配置,以及矽光子結構。
資料大小、準確度和執行時間
創新基於曲率的碎片
Calibre NMCLMPC 引擎中的曲率型碎片根據局部曲率決定邊緣片段長度,並提供可用於曲線 MPC 校正的輸出。此功能嘗試共同最佳化曲線遮罩處理程序校正的檔案大小、準確度和執行時間。

更快的運行時間和準確性
實現快速融合的選擇
Calibre NMCLMPC 可搭配基於曲率的預偏差一起使用,以實現曲線 MPC 的快速融合。基於曲率的預偏壓方法可減少所需的迭代次數,而不會降低校正精度,並節省執行時間。

可用性
同時校正能力
Calibre NMCLMPC 可以在一次執行中修正曲線和矩形形狀,將與標準配方中相同的規則套用到矩形形狀。

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