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主要功能

曲線設計的遮罩過程校正 (MPC)

Calibre NMCLMPC 對具有曲線多邊形的輸入佈局執行遮罩處理校正 (MPC),例如反向光學技術 (ILT) OPC 產生的版面配置,以及矽光子結構。

資料大小、準確度和執行時間

創新基於曲率的碎片

Calibre NMCLMPC 引擎中的曲率型碎片根據局部曲率決定邊緣片段長度,並提供可用於曲線 MPC 校正的輸出。此功能嘗試共同最佳化曲線遮罩處理程序校正的檔案大小、準確度和執行時間。

一個人站在一個大屏幕前,顯示一個人臉部的碎片圖像。
更快的運行時間和準確性

實現快速融合的選擇

Calibre NMCLMPC 可搭配基於曲率的預偏差一起使用,以實現曲線 MPC 的快速融合。基於曲率的預偏壓方法可減少所需的迭代次數,而不會降低校正精度,並節省執行時間。

一個人站在電腦螢幕前,可能正在進行一項專案。
可用性

同時校正能力

Calibre NMCLMPC 可以在一次執行中修正曲線和矩形形狀,將與標準配方中相同的規則套用到矩形形狀。

一個人站在電腦螢幕前,可能正在進行一項專案。

相關資源

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