為什麼 適用於薄膜製程的穩定、可重複的功率？
Advanced Energy 的 Ascent 直流電源系統可為嚴苛的薄膜沉積應用提供穩定、可重複的功率。先進的弧管理、嵌入式智慧和可擴充架構可協助製造商改善薄膜品質、提高輸送量、降低基板損壞，並支援一致的生產效能。
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進階的 Arc 管理
有助於偵測、預防和減輕弧形，以提高製程穩定性和產品品質。
優勢
- 改善影片品質
穩定且可重複的電源輸送有助於支持一致的塗層性能和高質量薄膜生產。 - 減少與弧相關的傷害
先進的弧管理有助於最大程度地減少基板、薄膜和設備損壞，同時提高過程穩定性。 - 更高的輸送量
可靠的電源輸送和流程控制有助於最大化生產力和製造效率。
特色功能
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可擴充電源架構
模組化設計可支援各種電源需求和製造環境。
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嵌入式流程智慧
支援 PowerInsight 的監控有助於改善流程可見性和操作控制。
現實世界應用
薄膜沉積
一家半導體製造商部署了 Ascent DC 電源系統，以改善沉積過程中的電源穩定性。先進的功率控制有助於支持薄膜一致性，減少製程變動性並提高生產性能。