主要功能
L-Edit MEMS 是 MEMS 设计的黄金标准。它具有真正的原生曲线支持,是唯一专为 MEMS 和 IC 设计开发的工具。它是微机电系统数字双胞胎的基础,通过合作伙伴关系支持设备设计、三维制造建模和仿真。
完整的微机电系统设计环境
- 真曲线支持
- 增强的布尔运算
- 高级编辑支持:
- 物体捕捉
- 基点
- 对齐
- 倒角/圆角
- 技术可配置
- 支持设计重用的组件库
- 设计规则检查

MEMS Digital Twin Flow
- 使用 SoftMEMS 进行实体建模
- 根据布局数据和制造过程描述创建 3D 实体模型
- 提供 MEMS 制造过程的 3D 图形表示
- 将模型导出到 FEM/BEM 仿真器进行三维分析
- 使用常用的 FEM 分析工具进行多物理场仿真
- Ansys、Comsol 和 OnScale
