主要特征
内存 OPC 流
替换流程可确保快速运行并确保阵列间校正的完美一致性,可扩展处理平台,并提供集成工作和细化以实现对称性和一致性。
新方法
流量基础设施解决方案
Calibre RET Calibre MEMOPC 提供具有阵列/单元识别、SRAF/OPC 插入模块和阵列恢复功能的流量基础设施解决方案。

刀具选择灵活性
OPC 校正和 SRAF 插入的多种选择
Calibre RET Calibre MEMOPC 流程使用户可以灵活地选择 SRAF 插入和 OPC 校正所需的工具。SRAF 插入选项包括 Calibre cnSraf、Calibre opcSbar 以及 Calibre pxOPC 或 ILT 引擎的使用。对于 OPC 校正,该流程支持使用 Calibre OPCPro、Calibre NMOPC、Calibre nmCLOPC 和 Calibre pxOPC 和 Calibre pxOPC。

TAT、一致性和质量
符合制造存储设备的要求
Calibre RET Calibre MEMOPC 的开发旨在克服制造存储器件和图像传感器产品的挑战,这些产品需要具有几何一致性和可接受的处理时间的处理方法。Calibre RET Calibre MEMOPC 可以提供具有卓越运行时间、一致性和光刻质量的解决方案。

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