利用多个从设计到制造的平台
Calibre Defect Management 解决方案执行基于模式匹配的缺陷分组,并利用 DRC/LVS 进行基于缺陷位置的设计属性和网络临界度分析。与设计工具的无缝集成促进了物理设计和缺陷检查之间的直接连接。
高效且用户友好
交叉探测到设计分析
Calibre Defect Management GUI集成了各种Calibre设计分析功能,并提供不同的基于缺陷的设计指导分析功能,因此用户可以轻松识别和修复缺陷的根本原因。

智能且系统化
从 BFI 检查到 SEM 分析的向下选择
Calibre Defect Management通过与基于机器学习的排名和预测方法Calibre SONR技术(一种基于机器学习的排名和预测方法)集成来提供向下采样应用程序,以提高缺陷命中率,突出显示抽样预算有限的系统模式,用于SEM审查。

准确而精确
基于 SEM 图像的缺陷分析
Calibre Defect Management SEM图像处理能力可在掩膜/晶圆上的缺陷位置和布局上的缺陷位置之间进行精确的锚定。使用 SEM 到布局对齐、轮廓提取和基于 SEM 的自动缺陷分类等技术来确保准确的缺陷分析。

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