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利用多个从设计到制造的平台

Calibre Defect Management 解决方案执行基于模式匹配的缺陷分组,并利用 DRC/LVS 进行基于缺陷位置的设计属性和网络临界度分析。与设计工具的无缝集成促进了物理设计和缺陷检查之间的直接连接。

高效且用户友好

交叉探测到设计分析

Calibre Defect Management GUI集成了各种Calibre设计分析功能,并提供不同的基于缺陷的设计指导分析功能,因此用户可以轻松识别和修复缺陷的根本原因。

一张宣传图片,展示了基于模式的缺陷分组,可视化呈现分组的缺陷。
智能且系统化

从 BFI 检查到 SEM 分析的向下选择

Calibre Defect Management通过与基于机器学习的排名和预测方法Calibre SONR技术(一种基于机器学习的排名和预测方法)集成来提供向下采样应用程序,以提高缺陷命中率,突出显示抽样预算有限的系统模式,用于SEM审查。

Calibre 软件界面通过简洁、专业的视觉设计突出缺陷管理
准确而精确

基于 SEM 图像的缺陷分析

Calibre Defect Management SEM图像处理能力可在掩膜/晶圆上的缺陷位置和布局上的缺陷位置之间进行精确的锚定。使用 SEM 到布局对齐、轮廓提取和基于 SEM 的自动缺陷分类等技术来确保准确的缺陷分析。

Calibre 软件界面显示专业人员在计算机屏幕上管理软件缺陷

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