主要功能
曲线设计的掩模过程校正 (MPC)
Calibre NMCLMPC对带有曲线多边形的输入布局(例如逆向光刻技术(ILT)OPC产生的曲线多边形以及硅光子结构的输入布局执行掩模过程校正(MPC)。
数据大小、精度和运行时间
基于曲率的创新碎片化
Calibre NMCLMPC引擎中基于曲率的碎片根据局部曲率确定边缘碎片长度,并提供可行的曲线MPC校正输出。此功能尝试共同优化文件大小、精度和执行时间,以进行曲线掩码过程校正。

更快的运行时间和准确性
实现快速收敛的选项
Calibre NMCLMPC 可与基于曲率的预偏差一起使用,以实现曲线 MPC 的快速收敛。基于曲率的预偏差方法在不降低校正精度的情况下减少了所需的迭代次数,并节省了运行时间。

可用性
同步校正能力
Calibre NMCLMPC 可以在一次运行中对曲线和矩形形状进行校正,对矩形形状应用与标准配方相同的规则。

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