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为什么 Calibre Calibre NMCLBIAS?

随着先进的光刻技术超越传统的曼哈顿几何形状,掩膜和晶圆的现实已不再符合理想的直线设计意图。Calibre Calibre NMCLBIAS 具有圆角、图案复杂度不断增加以及多光束掩模刻机推动的曲线掩模流的上升,有助于支持该行业向更准确、更可制造的下一代工艺的模式表示转变。

主要功能

曲线设计的 OPC 前偏向/重定向

Calibre NMCLBias是经过量产加工的Calibre NmBias工具的曲线版本,主要铸造厂使用该工具已超过12年。Calibre NMCLBias是一款可扩展且高效的重定向工具,可为曲线设计提供偏差解决方案。

准确性和质量

OPC 前重定向质量曲线

Calibre NMCLBias 为曲线设计提供基于规则的偏向/重定向,改进了分类边缘过滤,增强了边缘移动引擎,并在拐角处逐渐平滑片段。

身着黑色衬衫的人员站在白墙前,手持深色物体,背景虚化。
可扩展且高效

出色的运行时性能

Calibre Calibre NMCLBias重定向引擎提供可扩展且高效的预OPC重定向和偏向解决方案,以满足客户的运行时间需求。

身穿蓝衬衫的专业人士专心分析数据图表,墙上可见阴影
可用性和灵活性

易于使用的重定向引擎

Calibre NMCLBias 易于使用且灵活,允许用户定义的分段控制、基于标签的偏差、偏差规则表规格以及偏差规则插值等。

身着黑色衬衫的人员站在白墙前,手持深色物体,背景虚化。

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