Calibre Curvilinear MDP

Yêu cầu tạo mẫu của các quy trình in thạch bản thế hệ tiếp theo và nhu cầu giảm chi phí sản xuất đã thúc đẩy các nhà in thạch bản khám phá những lợi thế của mặt nạ đường cong. Nhiều nghiên cứu được hỗ trợ bởi các kết quả thí nghiệm đã chứng minh lợi thế in thạch bản của các mặt nạ quang đường cong so với các phép gần đúng thẳng. Khả năng sản xuất của mặt nạ đường cong đã bị hạn chế do kiến trúc của các bộ ghi chùm có hình dạng biến đổi, điều này khiến nó trở nên khó khăn đối với cả quan điểm chuẩn bị dữ liệu mặt nạ và viết mặt nạ. Sự sẵn có của những người viết mặt nạ đa chùm đã loại bỏ những rào cản này và đưa sự ra đời của mặt nạ đường cong gần với thực tế hơn nhiều.

Đọc Đường cong phía trước! Sản xuất vi mạch chuẩn bị cho mặt nạ đường cong để tìm hiểu thêm về lợi ích của mặt nạ đường cong.

Bộ công cụ Calibre Curvilinear MDP cho phép tiếp tục liền mạch các thao tác dữ liệu cần thiết cho Kỹ thuật Tăng cường độ phân giải (RET), chẳng hạn như chèn Tính năng Hỗ trợ Độ phân giải phụ (SRAF) và Hiệu chỉnh quy trình quang học (OPC) và Chỉnh sửa quy trình mặt nạ (MPC) sang chuyển đổi định dạng dữ liệu mặt nạ trong một lần chạy hàng loạt.

Theo truyền thống, người viết mặt nạ đa chùm đã hỗ trợ dữ liệu Piecewise-Linear (PWL) trong đường dẫn dữ liệu của họ. Gần đây, các nhà cung cấp máy viết mặt nạ đa tia đã giới thiệu hỗ trợ multigon gốc trên thế hệ công cụ viết mặt nạ đa tia mới. Mục đích của multigon là biểu diễn dữ liệu đường cong với định dạng đường cong gốc để nén kích thước tệp trong các luồng mặt nạ. Số đỉnh được sử dụng để biểu diễn dữ liệu đa giác ít hơn đáng kể so với các đỉnh được sử dụng để biểu diễn dữ liệu Piecewise-Linear, dẫn đến giảm kích thước tệp từ việc sử dụng các đường cong gốc cho dữ liệu đường cong.

Hình ảnh dưới đây cho thấy một ví dụ về PWL ở bên trái và multigon ở bên phải.

Giải pháp Calibre Curvilinear MDP hỗ trợ các luồng gãy đa chùm dựa trên multigon và được kích hoạt với các định dạng đa chùm mới nhất như MBW 3.0 từ IMS và MBF 2.1 từ NuFlare.

• Kiểm tra khoảng cách Multigon: Kiểm tra khoảng cách multigon được thiết kế để đo khoảng cách giữa các phần spline trên các lớp multigon, đảm bảo tuân thủ các hạn chế thiết kế.
• Kiểm tra chiều rộng chiều sâu và tỷ lệ chiều rộng chiều sâu Multigon: Kiểm tra chiều rộng độ sâu đảm bảo rằng chiều rộng tối thiểu của hình dạng đa giác nằm trong phạm vi chấp nhận được, cụ thể khi đo ở một phạm vi độ sâu nhất định.
• Kiểm tra góc nhiều góc: Kiểm tra góc đánh giá hình học của multigon bằng cách tính toán góc spline tại mỗi điểm quan tâm (POI) cho một bán kính xác định.
• Kiểm tra độ cong Multigon: Kiểm tra độ cong được thiết kế để đánh giá độ mịn và chất lượng uốn cong của mỗi phần spline Bezier trong một multigon bằng cách tính bán kính cong tối thiểu dọc theo đường viền của nó.

Hình trên cho thấy các ví dụ về kiểm tra khoảng cách bên ngoài (trên bên trái), kiểm tra khoảng cách bên trong (trên bên phải), phát hiện đột biến (dưới bên trái) và kiểm tra chiều sâu chiều rộng (dưới bên phải).