Криволінійний двигун OPC
Криволінійний двигун OPC Calibre може перетворювати прямокутні фігури в криволінійні візерунки і забезпечити досягнення мети EPE. Він виконує перевірки друку SRAF для вигнутих форм і застосовує обмеження MRC одночасно, щоб забезпечити високоякісну генерацію криволінійних масок.
Швидке повночіпове криволінійне рішення OPC
Calibre NMCloPC забезпечує гібридний криволінійний потік OPC ILT, що забезпечує необхідну якість літографії з більш швидким робочим часом, ніж при повному рішенні ILT. Цей потік можна використовувати для створення криволінійних масок, необхідних для кремнієвої фотоніки, або для прямолінійних конструкцій для логіки чи пам'яті.
Власне криволінійне представлення багатокутника
На відміну від традиційних механізмів OPC, які спираються на переміщення граней Манхеттена, Calibre nmcLOPC застосовує власне криволінійне представлення багатокутника за допомогою сплайнів Безьє та виконує корекцію на основі сплайнів шляхом переміщення «кривої OPC». Цей новий формат не тільки сприяє підвищенню точності, але й пом'якшує вибух розміру даних, запроваджений криволінійними масками.
Розширені рішення для моделювання OPC для криволінійних масок
Основна модель OPC Calibre може точно моделювати тривимірні ефекти електромагнітного поля маски для криволінійних масок. Використання контурів SEM для калібрування моделі до криволінійних візерунків дозволяє описати реальну поведінку на пластині. Удосконалена технологія Calibre nMcLopc забезпечує максимальне право на літографію та забезпечує необхідну точність OPC.
Готові дізнатися більше про Calibre?
Ми готові відповісти на ваші запитання! Зв'яжіться з нашою командою вже сьогодні
Телефонуйте: 1-800-547-3000
Консультаційні послуги Calibre
Ми допомагаємо вам прийняти, розгорнути, налаштувати та оптимізувати складні середовища проектування. Прямий доступ до інженерії та розробки продуктів дозволяє нам скористатися глибокими доменними та предметними знаннями.
Центр підтримки
Центр підтримки Siemens надає вам все в одному зручному місці -
база знань, оновлення продуктів, документація, справи підтримки, інформація про ліцензії/замовлення тощо.
Дизайн та виготовлення мікросхем Calibre
Набір інструментів Calibre забезпечує точну, ефективну та всебічну перевірку та оптимізацію мікросхем для всіх вузлів процесів та стилів проектування, мінімізуючи використання ресурсів та графіки стрічок.