Skip to main content
Bu sayfa, otomatik çeviri yardımıyla görüntülenmektedir. İngilizce olarak görüntülenmesini ister misiniz?

Genel Bakış

Calibre nmCLSRAF

Calibre NMCLSraf, hassas litografi kontrolü, alt çözünürlük yardımcı özelliği (SRAF) yerleşiminde tutarlılık, maske üretimi (MRC) ile uyumluluk ve entegre devre (IC) üretimi için hızlı çalışma süresi sağlamak için eğrisel tasarımlarda ILT güdümlü, şablon tabanlı SRAF sentezini gerçekleştirir.

Teknik kağıt

Fotonik tasarımları üretmek için gelişmiş ILT çözümleri

Son on yılda, fotonik teknolojisi, mikroelektronikte optik telekomünikasyon ve optik ara bağlantılar için gelişmekte olan bir teknoloji olmuştur. Sonuç olarak, çok çeşitli fotonik tasarım metodolojileri, çok zorlu ölçekler ve şekillerle birleşmiştir. Bu tür kıvrımlı ve kritik fotonik şekillerin üretilmesi, 193 nm daldırma litografisine sahip ters litografi teknikleri (ILT) dahil olmak üzere gelişmiş çözünürlük geliştirme teknikleri (RET) gerektirir. Bu yazıda, gelişmiş ILT çözümlerini kullanan çeşitli fotonik cihazların üretim zorluklarını ve SRAF eklemesinin kenar yerleştirme hatası (EPE), PVBand ve çizgi kenarı pürüzlülüğü (LER) dahil olmak üzere iyi lito kalitesi sağlama üzerindeki etkisini araştırıyoruz. Calibre ILT çözümlerimizin en zorlu fotonik tasarımların üretimini nasıl sağladığını göstereceğiz.

A integrated circuit and printed circuit board
Temel Özellikler

Tam çip SRAF ekleme için eğrisel şablonlar

Şablon tabanlı yaklaşım, süreç penceresi varyasyonu (PV bandı), ortak odak derinliği (DOF) ve görüntü log eğimi (ILS) açısından ILT SRAF'lara eşdeğer litografi kalitesi sunarken, çalışma zamanı verimliliğini önemli ölçüde artırır - yerel ILT SRAF sentezinden daha hızlı.

Calibre NMCLSraf özellikli kaynaklar

Calibre NMCLSraf hakkında daha fazla bilgi edinmek için öne çıkan kaynaklarımızı keşfedin.

SSS

Calibre NMCLSraf sık sorulan sorular

Calibre hakkında daha fazla bilgi edinmeye hazır mısınız?

Sorularınızı cevaplamak için hazırız! Bugün ekibimizle iletişime geçin

Çağrı: 1-800-547-3000

Bir uzmanla konuşun

Calibre danışmanlık hizmetleri

Karmaşık tasarım ortamlarınızı benimsemenize, dağıtmanıza, özelleştirmenize ve optimize etmenize yardımcı oluyoruz. Mühendislik ve ürün geliştirmeye doğrudan erişim, derin alan ve konu uzmanlığından yararlanmamızı sağlar.

Danışmanlık hizmetleri

Destek merkezi

Siemens Destek Merkezi, kullanımı kolay tek bir konumda her şeyi sağlar - bilgi tabanı, ürün güncellemeleri, belgeler, destek vakaları, lisans/sipariş bilgileri ve daha fazlası.

Destek ile iletişime geçin

Calibre blogu ile tasarım

Calibre araç paketi, kaynak kullanımını ve bant çıkış programlarını en aza indirirken tüm süreç düğümleri ve tasarım stilleri arasında doğru, verimli, kapsamlı IC doğrulama ve optimizasyon sağlar.

Uzmanlardan öğrenin