Genel Bakış
Calibre nmCLOPC
Yeni nesil litografik süreçlerin desen gereksinimleri, litografları eğrisel maskelerin avantajlarını keşfetmeye itti. Calibre OPC motoru eğrisel desenler oluşturmak ve hızlı tam yonga eğrisel OPC akışını desteklemek için genişletilmiştir.
Teknik ekibimizle iletişime geçin: 1-800-547-3000
Eğrisel OPC Motor
Kalibre eğrisel OPC motoru dikdörtgen şekilleri eğrisel desenlere dönüştürebilir ve EPE hedefine ulaşıldığından emin olabilir. Kavisli şekiller için SRAF baskı kontrolleri gerçekleştirir ve yüksek kaliteli eğrisel maske üretimi sağlamak için aynı anda MRC kısıtlamalarını uygular.
Hızlı Tam Çip Eğrisel OPC Çözümü
Calibre nmCLOPC Tam bir ILT çözümüne kıyasla daha hızlı bir çalışma süresi ile gerekli litografik kaliteyi sağlayan hibrit ILT eğrisel OPC akışını sağlar. Bu akış, Silikon Fotonik için gerekli eğrisel maskeleri veya mantık veya bellek için doğrusal tasarımlar için oluşturmak için kullanılabilir.
Doğal eğrisel çokgen gösterimi
Manhattan kenar hareketine dayanan geleneksel OPC motorlarının aksine, Calibre nmCLOPC Bezier splinleri ile doğal eğrisel çokgen gösterimini uygular ve bir “OPC eğrisini” hareket ettirerek spline tabanlı düzeltme gerçekleştirir. Bu yeni format yalnızca doğruluk iyileştirmesine fayda sağlamakla kalmaz, aynı zamanda eğrisel maskelerin getirdiği veri boyutu patlamasını da azaltır.
Eğrisel maskeler için gelişmiş OPC modelleme çözümleri
Calibre OPC çekirdek modeli, eğrisel maskeler için maskenin 3D elektromanyetik alan efektlerini doğru bir şekilde modelleyebilir. Eğrisel desenlere model kalibrasyonu için SEM konturlarının kullanılması, gofret üzerindeki gerçek davranışı tanımlamasını sağlar. Gelişmiş Calibre nmCLOPC teknoloji litografi yetkisini en üst düzeye çıkarır ve gerekli OPC doğruluğunu sağlar.
Calibre hakkında daha fazla bilgi edinmeye hazır mısınız?
ularınızı cevaplamak için hazırız! Bugün ekibimizle iletişime geçin Arayın
: 1-800-547-3000
Calibre danışmanlık hizmetleri
Karmaşık tasarım ortamlarınızı benimsemenize, dağıtmanıza, özelleştirmenize ve optimize etmenize yardımcı oluyoruz. Mühendislik ve ürün geliştirmeye doğrudan erişim, derin alan ve konu uzmanlığından yararlanmamızı sağlar.
Destek merkezi
Siemens Destek Merkezi, bilgi tabanı, ürün güncellemeleri, belgeler, destek durumları, lisans/sipariş bilgileri ve daha fazlası gibi kullanımı kolay tek bir konumda her şeyi sağlar.
Calibre blogu ile tasarım
Calibre araç paketi, kaynak kullanımını ve bant çıkış programlarını en aza indirirken tüm süreç düğümleri ve tasarım stilleri arasında doğru, verimli, kapsamlı IC doğrulama ve optimizasyon sağlar.