Calibre Curvilinear MDP

Yeni nesil litografik süreçlerin desen gereksinimleri ve üretim maliyetlerini düşük tutma ihtiyacı, litografları eğrisel maskelerin avantajlarını keşfetmeye itti. Deneysel sonuçlarla desteklenen çoklu çalışmalar, eğrisel fotomaskaların doğrusal yaklaşımlara göre litografik avantajını göstermiştir. Eğrisel maskelerin üretilebilirliği, değişken şekilli ışın yazarlarının mimarisi nedeniyle sınırlandırılmıştır, bu da onu hem maske veri hazırlama hem de maske yazma perspektiflerinden yasaklayıcı hale getirmiştir. Çok ışınlı maske yazarlarının mevcudiyeti bu engelleri kaldırdı ve eğrisel maskelerin tanıtımını gerçeğe çok daha yaklaştırdı.

Okumak İleriye doğru kıvrımlar! IC üretimi eğrisel maskelere hazırlanıyor eğrisel maskelerin faydaları hakkında daha fazla bilgi edinmek için.

Calibre Curvilinear MDP araç paketi, Alt Çözünürlük Yardım Özellikleri (SRAF'ler) ekleme ve Optik İşlem Düzeltme (OPC) ve Maske İşlemi Düzeltme (MPC) gibi Çözünürlük Geliştirme Teknikleri (RET) için gereken veri işlemlerinin tek bir toplu çalışmada maske veri formatına dönüştürme işlemlerinin sorunsuz bir şekilde devam etmesini sağlar.

Geleneksel olarak çok ışınlı maske yazarları, veri yollarında Piecewise-Linear (PWL) verilerini desteklemiştir. Son zamanlarda, çok ışınlı maske yazarı satıcıları, yeni nesil çok ışınlı maske yazma araçlarında yerel çoklu fon desteği tanıttılar. Multigon'un amacı, maske akışlarında dosya boyutu sıkıştırması için eğrisel verileri yerel eğri biçimiyle temsil etmektir. Çok köşeli verileri temsil etmek için kullanılan köşelerin sayısı, Piecewise-Lineer verilerini temsil etmek için kullanılan köşelerden önemli ölçüde daha azdır, bu da eğrisel veriler için yerel eğrilerin kullanılmasından dosya boyutunun küçülmesine neden olur.

Aşağıdaki resim solda PWL ve sağda multigon örneğini göstermektedir.

Calibre Curvilinear MDP çözümü, multigon tabanlı çok ışınlı kırılma akışlarını destekler ve IMS'den MBW 3.0 ve NuFlare'den MBF 2.1 gibi en yeni çoklu ışın formatlarıyla etkinleştirilir.

• Multigon Mesafe Kontrolü: Multigon mesafe kontrolü, multigon katmanlardaki spline bölümleri arasındaki mesafeyi ölçmek ve tasarım kısıtlamalarına uyumu sağlamak için tasarlanmıştır.
• Multigon Derinlik Genişliği ve Derinlik Genişlik Oranı Kontrolleri: Derinlik Genişliği kontrolü, bir multigon şeklinin minimum genişliğinin kabul edilebilir aralıkta olmasını sağlar, özellikle belirli bir derinlik aralığında ölçüldüğünde.
• Çoklu Açı Kontrolü: Açı Kontrolü, belirli bir yarıçap için her İlgi Noktasındaki (POI) spline açısını hesaplayarak multigonun geometrisini değerlendirir.
• Multigon Eğrilik Kontrolü: Eğrilik Kontrolü, bir multigon içindeki her Bezier spline bölümünün düzgünlüğünü ve bükülme kalitesini, konturu boyunca minimum eğrilik yarıçapını hesaplayarak değerlendirmek için tasarlanmıştır.

Yukarıdaki resim, dış mesafe kontrolü (sol üst), iç mesafe kontrolü (sağ üst), sivri uç algılama (sol alt) ve derinlik genişliği kontrolü (sağ alt) örneklerini göstermektedir.