
Calibre EUV
การสนับสนุนที่ครอบคลุมในการจัดการกับความท้าทายที่เป็นเอกลักษณ์ของ EUV แบบ RNA สูง เช่น ออปติกอนามอร์ฟิก และการสร้างแบบจำลอง 3 มิติหน้ากากเพื่อคำนึงถึงเอฟเฟกต์เงา
ความต้องการที่ไม่อิ่มตัวสำหรับวงจรรวม (IC) ยังคงขับเคลื่อนมิติที่สำคัญที่เล็กลงกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี รวมถึงอัลตราไวโอเลตที่รุนแรง (EUV) มีความซับซ้อนและปริมาณข้อมูลมากขึ้นเรื่อย ๆโซลูชันการเขียนลิโตกราฟีเชิงคำนวณของเราช่วยให้เทคโนโลยีประหยัดค่าใช้จ่าย
ทั้งความท้าทายของลิโตกราฟิกและความซับซ้อนในการคำนวณที่เกี่ยวข้องกับโหนดกระบวนการขั้นสูงสร้างความจำเป็นสำหรับความสามารถขั้นสูงในซอฟต์แวร์และฮาร์ดแวร์การคำนวณลิโทกราฟีโซลูชัน Calibre มอบความแม่นยำ ความเร็ว และต้นทุนในการเป็นเจ้าของที่ดีที่สุด

ความใกล้ชิดแสงแบบหนาแน่นและการแก้ไขกระบวนการเพื่อให้สามารถผลิตซับไมครอนลึก
แทรกคุณสมบัติช่วยความละเอียดย่อย (SRAF) เข้ากับการออกแบบ
การจำลองแบบเต็มชิปที่ทรงพลังและการวิเคราะห์ลิโทกราฟิก

GUI ใช้ในการเปิดตัวแอปพลิเคชันที่หลากหลายและเพื่อดูผลลัพธ์

เครื่องยนต์สอบเทียบที่ปรับขนาดได้สูงสำหรับรุ่นออปติคอล ทนทาน และการแกะสลัก
การแก้ไขความใกล้ชิดทางออปติคอลตามพิกเซลที่รวดเร็วและผกผัน
ใช้งานง่าย GUI สำหรับการเพิ่มประสิทธิภาพของแหล่งส่องสว่าง