Kröklinjig OPC-motor
Calibers krökta OPC-motor kan konvertera rektangulära former till krökta mönster och se till att EPE-målet uppnås. Den utför SRAF-utskriftskontroller för böjda former och tillämpar MRC-begränsningar samtidigt för att säkerställa högkvalitativ kröklinjig maskgenerering.
Snabb krökt OPC-lösning med full chip
Calibre NMCloPC möjliggör det hybrida ILT-krökta OPC-flödet som levererar den erforderliga litografiska kvaliteten med en snabbare drifttid än med en fullständig ILT-lösning. Detta flöde kan användas för att generera krökta masker som behövs för Silicon Photonics, eller för rätlinjiga mönster för logik eller minne.
Inbyggd krökt polygonrepresentation
Till skillnad från traditionella OPC-motorer som förlitar sig på Manhattan-kantrörelser tillämpar Calibre NMCloPC inbyggd krökt polygonrepresentation med Bezier-splines och utför spline-baserad korrigering genom att flytta en ”OPC-kurva”. Detta nya format gynnar inte bara noggrannhetsförbättringen utan minskar också datastorleksexplosionen som introduceras av krökta masker.
Avancerade OPC-modelleringslösningar för krökta masker
Calibre OPC-kärnmodellen kan exakt modellera masken 3D-elektromagnetiska fälteffekter för krökta masker. Användningen av SEM-konturer för modellkalibrering till krökta mönster gör det möjligt att beskriva det verkliga beteendet på wafer. Den avancerade Calibre NMCloPC-tekniken maximerar litografibehörigheten och uppnår den OPC-noggrannhet som krävs.
Är du redo att lära dig mer om Calibre?
Vi står redo att svara på dina frågor! Kom i kontakt med vårt team idag
Ring: 1-800-547-3000
Calibre konsulttjänster
Vi hjälper dig att anta, distribuera, anpassa och optimera dina komplexa designmiljöer. Direkt tillgång till teknik och produktutveckling gör att vi kan utnyttja djup domän- och ämnesexpertis.
Supportcenter
Siemens Support Center ger dig allt på en lättanvänd plats -
kunskapsbas, produktuppdateringar, dokumentation, supportärenden, licens/beställningsinformation med mera.
Kaliber IC Design & Tillverkning
Verktygssviten Calibre ger exakt, effektiv, omfattande IC-verifiering och optimering över alla processnoder och designstilar samtidigt som resursanvändning och bandutningsscheman minimeras.