Calibre Curvilinear Solutions

Calibre NMclBias är en krökt version av det produktionshärdade Calibre NMBias-verktyget som ger jämna förspänningsresultat och kvalitetsregelbaserad retargeting för krökta mönster.

Calibre NMCloPC utför modellbaserad optisk närhetskorrigering för krökta kanter för att uppnå hög trovärdighet, jämn och konsekvent utmatning som är ren med maskeregler.

Calibre NMCLMPC stöder krökt maskprocesskorrigering för att uppfylla förväntningarna på bearbetningstid och maskmönstertrohet för avancerad nodens kröklinjära masktillverkning.

Caliber NMCLSraf kan utföra regelbaserad krökt SRAF-infogning baserat på de inversa litograferesultaten (ILT) som genereras från Calibre ILT-motorn.

Calibre Curvilinear MDP-produktsvit erbjuder ett komplett maskdataförberedelseflöde för krökta masker och ansluts sömlöst för MPC, MDP och OPC.

Erbjuder omfattande stöd för krökt MRC och verifiering, som sträcker sig över olika stadier av masksyntes och beredningsflöde.