Skip to main content
This page is displayed using automated translation. View in English instead?
Tehnički rad

Napredna ILT rešenja za proizvodnju fotonskih dizajna

U poslednjoj deceniji, fotonska tehnologija je nova tehnologija za optičke telekomunikacije i optičke interkonekcije u mikroelektronici. Kao rezultat toga, velika raznolikost metodologija dizajna fotonike spojila se sa veoma izazovnim skalama i oblicima. Izrada takvih zakrivljenih i kritičnih fotonskih oblika zahteva napredne tehnike poboljšanja rezolucije (RET), uključujući tehnike inverzne litografije (ILT) sa 193 nm uronjajućom litografijom. U ovom radu istražujemo proizvodne izazove nekoliko fotonskih uređaja koristeći napredna ILT rešenja i uticaj umetanja SRAF -a na pružanje dobrog kvaliteta lita, uključujući grešku postavljanja ivica (EPE), PVband i hrapavost ivica linije (LER). Pokazaćemo kako naša Calibre ILT rešenja omogućavaju proizvodnju najizazovnijih fotonskih dizajna.

Pročitajte tehnički rad
Integrisano kolo i štampana ploča
Ključne karakteristike

Krivolinijski šabloni za umetanje SRAF sa punim čipom

Pristup zasnovan na šablonu nudi kvalitet litografije ekvivalentan ILT SRAF-ovima u smislu varijacije procesnog prozora (PV opseg), zajedničke dubine fokusa (DOF) i nagiba dnevnika slike (ILS), istovremeno značajno poboljšavajući efikasnost rada - brže od izvorne ILT SRAF sinteze.

Istaknuti resursi Calibre NMCLsRAF

Istražite naše istaknute resurse da biste saznali više o Calibre nmCLSRAF.

ČESTA PITANJA

Calibre NMCLsRAF Često postavljana pitanja

Spremni ste da saznate više o Calibre?

Stojimo spremni da odgovorimo na vaša pitanja! Kontaktirajte naš tim danas

Pozovite: 1-800-547-3000

Razgovarajte sa stručnjakom

Kalibar konsultantske usluge

Pomažemo vam da usvojite, primenite, prilagodite i optimizujete svoja složena dizajnerska okruženja. Direktan pristup inženjeringu i razvoju proizvoda omogućava nam da iskoristimo duboku stručnost u domenu i temama.

Konsultantske usluge

Centar za podršku

Siemens centar za podršku pruža vam sve na jednoj lokaciji koja je jednostavna za upotrebu -
baza znanja, ažuriranja proizvoda, dokumentacija, slučajevi podrške, informacije o licenci/porudžbini i još mnogo toga.

Kontaktirajte podršku

Kalibar IC dizajn i proizvodnja

Paket alata Calibre pruža tačnu, efikasnu, sveobuhvatnu verifikaciju i optimizaciju IC-a u svim procesnim čvorovima i stilovima dizajna, istovremeno minimizirajući upotrebu resursa i rasporede snimanja.

Učite od stručnjaka