Krivolinijski OPC motor
Krivolinijski OPC motor Calibre može pretvoriti pravougaone oblike u krivolinijske obrasce i osigurati postizanje cilja EPE. Izvodi provere SRAF štampanja za zakrivljene oblike i istovremeno primenjuje MRC ograničenja kako bi se osiguralo visokokvalitetno stvaranje krivolinijskih maski.
Brzo krivulinijsko OPC rešenje sa punim čipom
Calibre nmCLOPC omogućava hibridni ILT krivolinijski OPC protok koji pruža potreban litografski kvalitet uz brže vreme rada nego sa punim ILT rešenjem. Ovaj tok se može koristiti za generisanje krivolinijskih maski potrebnih za silicijumsku fotoniku ili za pravolinijske dizajne za logiku ili memoriju.
Izvorna krivolinijska reprezentacija poligona
Za razliku od tradicionalnih OPC motora koji se oslanjaju na kretanje ivice Menhetna, Calibre nmCLOPC primenjuje izvornu krivolinijsku reprezentaciju poligona sa Bezierovim splajnovima i vrši korekciju zasnovanu na ivicama pomeranjem „OPC krive“. Ovaj novi format ne samo da koristi poboljšanju tačnosti, već i ublažava eksploziju veličine podataka koju uvode krivolinijske maske.
Napredna OPC rešenja za modeliranje krivulinijskih maski
Model jezgra Calibre OPC može precizno modelirati efekte 3D elektromagnetnog polja maske za krivolinijske maske. Upotreba SEM kontura za kalibraciju modela na krivolinijske obrasce omogućava mu da opiše stvarno ponašanje na vafli. Napredna tehnologija Calibre nmCLOPC maksimizira pravo na litografiju i postiže potrebnu OPC tačnost.
Spremni ste da saznate više o Calibre?
Stojimo spremni da odgovorimo na vaša pitanja! Kontaktirajte naš tim danas
Pozovite: 1-800-547-3000
Kalibar konsultantske usluge
Pomažemo vam da usvojite, primenite, prilagodite i optimizujete svoja složena dizajnerska okruženja. Direktan pristup inženjeringu i razvoju proizvoda omogućava nam da iskoristimo duboku stručnost u domenu i temama.
Centar za podršku
Siemens centar za podršku pruža vam sve na jednoj lokaciji koja je jednostavna za upotrebu -
baza znanja, ažuriranja proizvoda, dokumentacija, slučajevi podrške, informacije o licenci/porudžbini i još mnogo toga.
Kalibar IC dizajn i proizvodnja
Paket alata Calibre pruža tačnu, efikasnu, sveobuhvatnu verifikaciju i optimizaciju IC-a u svim procesnim čvorovima i stilovima dizajna, istovremeno minimizirajući upotrebu resursa i rasporede snimanja.