Skip to main content
Ta stran je prikazana z avtomatskim prevajanjem. Namesto tega glej v angleščini?

Pregled

Calibre nmCLSRAF

Calibre NMCLsRAF izvaja sintezo SRAF, ki temelji na šablonah, ki temelji na ILT, na krivuljnih izvedbah, da zagotovi natančen nadzor litografije, doslednost postavitve funkcije za pomoč pri ločljivosti (SRAF), skladnost s proizvodnjo mask (MRC) in hitro izvajanje za izdelavo integriranih vezij (IC).

Tehnični dokument

Napredne rešitve ILT za izdelavo fotonskih modelov

V zadnjem desetletju je bila fotonska tehnologija nastajajoča tehnologija za optične telekomunikacije in optične povezave v mikroelektroniki. Posledično se je velika raznolikost metodologij oblikovanja fotonike združila z zelo zahtevnimi lestvicami in oblikami. Za izdelavo takšnih ukrivljenih in kritičnih fotonskih oblik so potrebne napredne tehnike izboljšanja ločljivosti (RET), vključno s tehnikami inverzne litografije (ILT) s 193 nm potopno litografijo. V tem prispevku raziskujemo proizvodne izzive več fotonskih naprav z uporabo naprednih rešitev ILT in vpliv vstavljanja SRAF na zagotavljanje dobre kakovosti lita, vključno z napako pri postavitvi robov (EPE), PVpasom in hrapavostjo robov linije (LER). Pokazali bomo, kako naše rešitve Calibre ILT omogočajo izdelavo najzahtevnejših fotonskih modelov.

A integrated circuit and printed circuit board
Ključne značilnosti

Krivolinijske predloge za vstavljanje SRAF s polnim čipom

Pristop, ki temelji na predlogi, ponuja kakovost litografije, enakovredno ILT SRAF-jem v smislu variacije procesnega okna (PV pas), skupne globine ostrenja (DOF) in naklona dnevnika slike (ILS), hkrati pa bistveno izboljša učinkovitost izvajanja — hitreje kot izvorna sinteza ILT SRAF.

Predstavljeni viri Calibre NMCLsRAF

Raziščite naše predstavljene vire, če želite izvedeti več o Calibre nmCLSRAF.

POGOSTA VPRAŠANJA

Calibre NMCLsRAF Pogosto zastavljena vprašanja

Ste pripravljeni izvedeti več o Calibre?

Smo pripravljeni odgovoriti na vaša vprašanja! Stopite v stik z našo ekipo še danes

Pokličite: 1-800-547-3000

Pogovorite se s strokovnjakom

Storitve svetovanja Calibre

Pomagamo vam sprejeti, uvajati, prilagoditi in optimizirati vaša zapletena oblikovalska okolja. Neposreden dostop do inženiringa in razvoja izdelkov nam omogoča, da izkoristimo poglobljeno področje in strokovno znanje.

Svetovalne storitve

Podporni center

Siemens center za podporo vam ponuja vse na enem mestu, ki je enostavna za uporabo -
zbirka znanja, posodobitve izdelkov, dokumentacija, primeri podpore, informacije o licenci/naročilu in še več.

Kontaktirajte podporo

Oblikovanje in izdelava kalibra IC

Paket orodij Calibre zagotavlja natančno, učinkovito in celovito preverjanje in optimizacijo IC v vseh procesnih vozliščih in slogih oblikovanja, hkrati pa zmanjšuje porabo virov in urnike posnetkov.

Učite se od strokovnjakov