Krivolinijski OPC motor
Krivolinijski OPC motor Calibre lahko pretvori pravokotne oblike v ukrivljene vzorce in poskrbi, da je cilj EPE dosežen. Izvaja preverjanja tiskanja SRAF za ukrivljene oblike in hkrati uporablja omejitve MRC, da zagotovi visokokakovostno ustvarjanje krivuljnih mask.
Hitra ukrivljena rešitev OPC s polnim čipom
Calibre nmCLOPC omogoča hibridni ukrivljeni pretok OPC ILT, ki zagotavlja zahtevano litografsko kakovost s hitrejšo izvedbo kot s popolno rešitvijo ILT. Ta tok se lahko uporablja za ustvarjanje krivuljnih mask, potrebnih za silicijevo fotoniko, ali za pravokotne zasnove za logiko ali spomin.
Izvorna ukrivljena reprezentacija mnogokotnika
Za razliko od tradicionalnih motorjev OPC, ki se zanašajo na gibanje robov Manhattna, Calibre nmCLOPC uporablja izvorno ukrivljeno poligonsko predstavitev z Bezierjevimi splini in s premikanjem »OPC krivulje« izvaja korekcijo, ki temelji na drobnicah. Ta nova oblika ne koristi le izboljšanju natančnosti, ampak tudi blaži eksplozijo velikosti podatkov, ki jo uvedejo ukrivljene maske.
Napredne rešitve za modeliranje OPC za ukrivljene maske
Model jedra Calibre OPC lahko natančno modelira učinke 3D elektromagnetnega polja maske za krivolinijske maske. Uporaba SEM kontur za kalibracijo modela na ukrivljene vzorce omogoča opis dejanskega obnašanja rezin. Napredna tehnologija Calibre nmCLOPC povečuje upravičenost do litografije in doseže zahtevano natančnost OPC.
Ste pripravljeni izvedeti več o Calibre?
Smo pripravljeni odgovoriti na vaša vprašanja! Stopite v stik z našo ekipo še danes
Pokličite: 1-800-547-3000
Storitve svetovanja Calibre
Pomagamo vam sprejeti, uvajati, prilagoditi in optimizirati vaša zapletena oblikovalska okolja. Neposreden dostop do inženiringa in razvoja izdelkov nam omogoča, da izkoristimo poglobljeno področje in strokovno znanje.
Podporni center
Siemens center za podporo vam ponuja vse na enem mestu, ki je enostavna za uporabo -
zbirka znanja, posodobitve izdelkov, dokumentacija, primeri podpore, informacije o licenci/naročilu in še več.
Oblikovanje in izdelava kalibra IC
Paket orodij Calibre zagotavlja natančno, učinkovito in celovito preverjanje in optimizacijo IC v vseh procesnih vozliščih in slogih oblikovanja, hkrati pa zmanjšuje porabo virov in urnike posnetkov.