Ustvarjanje krivuljnih oblik mask v optični korekciji bližine (OPC) namesto čistih pravokotnih oblik postaja vse bolj realistično kot metoda za izboljšanje učinkovitosti litografije rezin. Glavna prednost uporabe ukrivljenih oblik je izboljšano procesno okno, kar pomeni, da je slika rezin manj občutljiva na pogoje odmerjanja in ostrenja med osvetlitvijo. S povečano računalniško močjo najnovejših visokozmogljivih grozdov in razpoložljivostjo pisalcev mask z več žarki (MBMW) je mogoče te prednosti litografije rezin uresničiti na tehnoloških vozliščih, ki se trenutno razvijajo.
Zelo praktičen izziv pri dajanju mask z ukrivljenimi oblikami v proizvodnjo je razpoložljivost zanesljivih preverjanj pravil mask (MRC). Motor OPC ne mora samo ustvarjati oblik, ki jih je mogoče izdelati, ampak trgovina z maskami potrebuje tudi metodo preverjanja, ali so dohodni podatki o maski izdelljivi. Za ukrivljene oblike mask je to bolj zahtevno kot pri pravokotnih oblikah mask, saj preprosta preverjanja širine in prostora ne zadostujejo več.
V tem prispevku razpravljamo o obsežnem naboru mejnih vrednosti MRC in prikazujemo učinkovitost motorja MRC, ki deluje na krivuljnih vhodnih podatkih. Rules, ki se uporabljajo tukaj, vključujejo minimalno širino izpostavljenih elementov, najmanjši prostor med izpostavljenimi elementi, minimalno ukrivljenost konveksnih in konkavnih oblik ter minimalno površino izpostavljenih elementov.
